| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-33页 |
| ·课题研究的背景及意义 | 第14-15页 |
| ·激光直写机及其若干关键技术研究现状 | 第15-30页 |
| ·激光直写机结构形式及参数指标现状 | 第16-20页 |
| ·直角坐标激光直写曝光模型研究现状 | 第20-21页 |
| ·直角坐标激光直写邻近效应校正研究现状 | 第21-23页 |
| ·长行程纳米级定位技术研究现状 | 第23-30页 |
| ·本研究领域存在的关键技术问题 | 第30-31页 |
| ·课题来源及主要研究内容 | 第31-33页 |
| 第2章 直角坐标激光直写的动态曝光模型 | 第33-46页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·直角坐标激光直写的动态曝光模型理论分析 | 第33-37页 |
| ·直角坐标激光直写衍射焦平面上光强分布 | 第34-35页 |
| ·直角坐标激光直写的光强离散化模型 | 第35-36页 |
| ·直角坐标激光直写光刻胶内的动态曝光量空间分布 | 第36-37页 |
| ·直角坐标激光直写的动态曝光模型仿真实验结果及分析 | 第37-43页 |
| ·曝光量分布和抑制剂浓度分布仿真示例 | 第38-39页 |
| ·恒值高斯光束曝光时的动态曝光仿真实验 | 第39-40页 |
| ·直写参量对线条质量的影响分析 | 第40-43页 |
| ·扫描线的定位误差对动态曝光模型的影响 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 第3章 声光调制器低分辨力时邻近效应的校正方法 | 第46-58页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·误差校正迭代方法 | 第46-51页 |
| ·声光调制器低分辨力时邻近效应的校正方法 | 第51-57页 |
| ·以虚拟高分辨力声光调制器校正直写图案 | 第51-54页 |
| ·调制各误差区域重心的最邻近光点 | 第54-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第4章 宏微定位工作台的设计研究 | 第58-82页 |
| ·引言 | 第58页 |
| ·宏微定位工作台的总体设计 | 第58-62页 |
| ·宏动台单元设计 | 第62-70页 |
| ·宏动台伺服控制原理 | 第62-63页 |
| ·直线电机及其驱动器的选型 | 第63页 |
| ·宏动台的数学模型 | 第63-70页 |
| ·微动台单元设计 | 第70-79页 |
| ·微动台伺服控制原理 | 第71页 |
| ·音圈电机及其驱动器的选型 | 第71-72页 |
| ·微动台的数学模型 | 第72-79页 |
| ·宏微控制模型的搭建 | 第79-81页 |
| ·本章小结 | 第81-82页 |
| 第5章 宏微系统中定位噪声的抑制研究 | 第82-98页 |
| ·引言 | 第82页 |
| ·微动台定位噪声的抑制研究 | 第82-87页 |
| ·阻尼器的布局设计 | 第82-84页 |
| ·微动台阻尼器的作用规律研究 | 第84-87页 |
| ·耦合阻尼对宏微系统的影响 | 第87-97页 |
| ·耦合阻尼对噪声传递的影响 | 第88-91页 |
| ·耦合阻尼对宏、微工作台动态特性的影响 | 第91-95页 |
| ·耦合阻尼对宏、微工作台相对位置的影响 | 第95-97页 |
| ·本章小结 | 第97-98页 |
| 第6章 实验及结果分析 | 第98-123页 |
| ·引言 | 第98页 |
| ·声光调制器低分辨力时校正邻近效应的实验 | 第98-106页 |
| ·基于声光调制器调制直写光束光强的实验系统 | 第98-104页 |
| ·校正结果分析 | 第104-106页 |
| ·宏微系统实验 | 第106-121页 |
| ·实验系统组成及其体系结构 | 第107页 |
| ·系统实验研究与性能测试 | 第107-121页 |
| ·本章小结 | 第121-123页 |
| 结论 | 第123-126页 |
| 参考文献 | 第126-135页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第135-137页 |
| 致谢 | 第137-138页 |
| 个人简历 | 第138页 |