| 致谢 | 第1-7页 |
| 摘要 | 第7-9页 |
| Abstract | 第9-12页 |
| 目录 | 第12-14页 |
| 第一章 前言 | 第14-19页 |
| 第二章 文献综述 | 第19-51页 |
| ·ZnO的基本性质 | 第19-22页 |
| ·ZnO的晶体结构 | 第19-22页 |
| ·ZnO的能带结构 | 第22页 |
| ·ZnO的结构形态 | 第22-26页 |
| ·ZnO体单晶 | 第23-24页 |
| ·ZnO薄膜 | 第24-25页 |
| ·ZnO纳米结构 | 第25-26页 |
| ·ZnO的性能 | 第26-29页 |
| ·ZnO的光学性能 | 第26-28页 |
| ·ZnO的电学性能 | 第28-29页 |
| ·ZnO的应用 | 第29-31页 |
| ·ZnO的缺陷与掺杂 | 第31-41页 |
| ·ZnO的本征缺陷 | 第31-33页 |
| ·ZnO的非故意掺杂 | 第33-34页 |
| ·ZnO的n型掺杂 | 第34-35页 |
| ·ZnO的p型掺杂 | 第35-41页 |
| ·Zn_(1-x)Mg_xO三元合金 | 第41-44页 |
| ·Zn_(1-x)Mg_xO合金的晶体结构 | 第42-43页 |
| ·Zn_(1-x)Mg_xO合金的性能与应用 | 第43页 |
| ·Si衬底上生长Zn_(1-x)Mg_xO薄膜研究进展 | 第43-44页 |
| ·ZnO/Zn_(1-x)Mg_xO量子阱、超晶格 | 第44-49页 |
| ·ZnO/Zn_(1-x)Mg_xO量子阱、超晶格的性能与应用 | 第45-46页 |
| ·ZnO/Zn_(1-x)Mg_xO量子阱、超晶格的研究进展 | 第46-49页 |
| ·本文研究思路 | 第49-51页 |
| 第三章 实验原理、生长工艺及评价手段 | 第51-62页 |
| ·PLD工作原理 | 第51-53页 |
| ·激光与靶材相互作用产生等离子体 | 第51-52页 |
| ·等离子体的空间传输 | 第52-53页 |
| ·等离子体在衬底表面沉积、形核成薄 | 第53页 |
| ·PLD特点 | 第53-54页 |
| ·脉冲激光沉积系统 | 第54-57页 |
| ·准分子激光器及光学系统 | 第55页 |
| ·沉积系统 | 第55-57页 |
| ·生长工艺 | 第57-59页 |
| ·靶材的制备 | 第57页 |
| ·衬底清洗 | 第57-58页 |
| ·样品制备 | 第58-59页 |
| ·性能表征 | 第59-62页 |
| 第四章 Sb掺杂制备p型ZnO薄膜的研究 | 第62-83页 |
| ·引言 | 第62页 |
| ·Sb掺杂制备p型ZnO薄膜 | 第62-67页 |
| ·衬底温度对Sb掺杂ZnO薄膜的影响 | 第67-72页 |
| ·生长压强对Sb掺杂ZnO薄膜的影响 | 第72-78页 |
| ·Sb含量对Sb掺杂ZnO薄膜的影响 | 第78-81页 |
| ·本章小结 | 第81-83页 |
| 第五章 Sb掺杂ZnO薄膜的p型导电机理研究 | 第83-97页 |
| ·前言 | 第83页 |
| ·PLD技术生长Sb掺杂p型ZnO薄膜 | 第83-86页 |
| ·Sb掺杂p型ZnO薄膜中元素的化学态分析 | 第86-88页 |
| ·Sb掺杂p型ZnO薄膜光致发光行为分析 | 第88-94页 |
| ·Sb掺杂ZnO薄膜p型导电机理研究 | 第94-96页 |
| ·本章小结 | 第96-97页 |
| 第六章 Sb掺杂制备p型Zn_(1-x)Mg_xO薄膜的研究 | 第97-110页 |
| ·前言 | 第97页 |
| ·Sb掺杂制备p型Zn_(1-x)Mg_xO薄膜 | 第97-104页 |
| ·Mg含量对Sb掺杂Zn_(1-x)Mg_xO薄膜的影响 | 第104-108页 |
| ·Zn_(1-x)Mg_xO同质p-n结的制备 | 第108-109页 |
| ·本章小结 | 第109-110页 |
| 第七章 Si衬底上外延生长Zn_(1-x)Mg_xO合金薄膜 | 第110-126页 |
| ·前言 | 第110-111页 |
| ·缓冲层 | 第111-115页 |
| ·缓冲层材料的选择 | 第111-112页 |
| ·Lu_2O_3的制备与性能表征 | 第112-115页 |
| ·Si衬底上外延生长Zn_(1-x)Mg_xO合金薄膜 | 第115-123页 |
| ·Si衬底上无微裂纹的Zn_(1-x)Mg_xO薄膜生长 | 第123-125页 |
| ·本章小结 | 第125-126页 |
| 第八章 Mg掺入引起ZnO中导带边偏移的研究 | 第126-134页 |
| ·前言 | 第126页 |
| ·变温PL分析Mg掺入引起ZnO中导带边偏移 | 第126-130页 |
| ·变温Hall分析Mg掺入引起ZnO中导带边偏移 | 第130-132页 |
| ·本章小结 | 第132-134页 |
| 第九章 Si衬底上ZnO/Zn_(1-x)Mg_xO量子阱的制备及其光学性能的研究 | 第134-145页 |
| ·前言 | 第134-135页 |
| ·Si衬底上ZnO/Zn_(1-x)Mg_xO量子阱的制备 | 第135-136页 |
| ·ZnO/Zn_(1-x)Mg_xO量子阱光学性能的研究 | 第136-144页 |
| ·本章小结 | 第144-145页 |
| 第十章 结论 | 第145-150页 |
| ·全文总结 | 第145-148页 |
| ·本文的主要创新点 | 第148-149页 |
| ·未来工作展望 | 第149-150页 |
| 参考文献 | 第150-174页 |
| 作者简历 | 第174-177页 |
