| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-27页 |
| ·集成光学的发展 | 第11页 |
| ·本论文的研究背景与研究意义 | 第11-13页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第13-14页 |
| ·聚合物光波导器件的发展与研究状况 | 第14-27页 |
| ·光波导器件对光子聚合物材料特性方面的基本要求 | 第15-17页 |
| ·目前几种商用的聚合物材料的基本特性 | 第17-19页 |
| ·制备聚合物光波导器件的几种工艺方法 | 第19-24页 |
| ·聚合物基光波导器件及其应用 | 第24-27页 |
| 2 新型光子聚合物材料 | 第27-49页 |
| ·PPESK系列光子聚合物材料 | 第27-37页 |
| ·基体材料PPESK-8020的成膜特性 | 第28-30页 |
| ·基体材料PPESK-8020的光学特性及其它特性的表征 | 第30-35页 |
| ·PPESK系列基体材料的改性 | 第35-37页 |
| ·PSQ系列光子聚合物材料 | 第37-46页 |
| ·聚合物PSQ-L的成膜特性及固化特性 | 第38-43页 |
| ·聚合物PSQ-L的光学特性及其它特性的表征 | 第43-46页 |
| ·本章小结 | 第46-49页 |
| 3 聚合物基微环谐振器的设计 | 第49-63页 |
| ·微环谐振器的理论基础 | 第49-55页 |
| ·微环谐振器的基本理论 | 第49-52页 |
| ·微环谐振器的几个重要性能参数 | 第52-55页 |
| ·PSQ-L基微环谐振器的设计 | 第55-62页 |
| ·聚合物基微环谐振器的设计理念 | 第55-56页 |
| ·PSQ-L基微环谐振器的结构参数的选取 | 第56-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 4 聚合物基微环谐振器的制备工艺 | 第63-83页 |
| ·传统曝光-刻蚀工艺制备聚合物PSQ-L基微环谐振器 | 第63-71页 |
| ·传统曝光-刻蚀工艺制备聚合物基光波导的工艺流程 | 第63-65页 |
| ·传统曝光-刻蚀工艺制备聚合物PSQ-L基微环谐振器 | 第65-70页 |
| ·目前存在的问题 | 第70-71页 |
| ·压印技术制备聚合物PSQ-L基微环谐振器 | 第71-82页 |
| ·纳米压印技术(Nanoimpring Lithography Technology)制备PSQ-L基光波导 | 第71-76页 |
| ·软刻蚀技术(Soft-Lithography)制备PSQ-L基微环谐振器 | 第76-82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 5 聚合物基微环谐振器的性能测量 | 第83-103页 |
| ·测量系统 | 第83-85页 |
| ·聚合物PSQ-L基微环谐振器的测量结果及分析 | 第85-93页 |
| ·压印法制备的PSQ-L基微环谐振器的测量结果 | 第86-88页 |
| ·微环谐振特性曲线的拟合及分析 | 第88-90页 |
| ·压印法制备的PSQ-L陷波滤波器的测量结果及分析讨论 | 第90-92页 |
| ·曝光-刻蚀法制备的微环谐振器的测量结果及分析讨论 | 第92-93页 |
| ·聚合物基微环谐振器的测量技巧 | 第93-97页 |
| ·如何将波导的TE模式和TM模式分开 | 第94页 |
| ·两种测量方式的优缺点 | 第94-96页 |
| ·可调谐激光器扫描步长对测量结果的影响 | 第96-97页 |
| ·测量结果的深入分析及对制备工艺的反馈 | 第97-101页 |
| ·聚合物波导的损耗特性 | 第97-100页 |
| ·聚合物微环谐振器直波导和环的能量耦合系数 | 第100页 |
| ·目前存在的问题 | 第100-101页 |
| ·本章小结 | 第101-103页 |
| 6 无热化的硅基光波导器件 | 第103-117页 |
| ·引言 | 第103-104页 |
| ·实现无热化的硅基光波导器件的理论基础 | 第104-108页 |
| ·可行性分析 | 第104-106页 |
| ·采用聚合物上包层实现无热化的硅基光波导器件 | 第106-108页 |
| ·硅基光波导器件的制备 | 第108-110页 |
| ·无热化的硅基光波导器件的测量 | 第110-115页 |
| ·测量装置 | 第110-111页 |
| ·测量结果 | 第111-115页 |
| ·本章小结 | 第115-117页 |
| 7 总结 | 第117-127页 |
| ·主要研究内容和结论 | 第117-119页 |
| ·主要创新点 | 第119页 |
| ·展望 | 第119-127页 |
| ·聚合物波导制备工艺的改进和完善 | 第120-123页 |
| ·聚合物光波导性能方面的改进和完善 | 第123-124页 |
| ·聚合物材料特性方面的改进和完善 | 第124-125页 |
| ·PSQ-L基微环谐振器在传感方面的应用 | 第125-127页 |
| 参考文献 | 第127-135页 |
| 附录A 棱镜耦合仪测量聚合物薄膜光学特性的原理 | 第135-139页 |
| A.1 棱镜耦合仪测量薄膜折射率的原理 | 第135-138页 |
| A.2 棱镜耦合仪测量薄膜光损耗的原理 | 第138-139页 |
| 附录B 聚合物波导的掩模版样图 | 第139-141页 |
| 附录C 硅基波导的掩模版样图 | 第141-142页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第142-144页 |
| 致谢 | 第144-145页 |
| 作者简介 | 第145-147页 |
