一种Pt微薄膜加热器的仿真优化设计和沸腾实验研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-17页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第11-14页 |
| 1.1.1 国外研究背景 | 第11-12页 |
| 1.1.2 国内研究背景 | 第12-13页 |
| 1.1.3 MEMS薄膜微加热器的发展趋势 | 第13-14页 |
| 1.2 课题意义 | 第14-15页 |
| 1.3 研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 Pt薄膜微加热器的设计 | 第17-23页 |
| 2.1 Pt薄膜微加热器设计目的 | 第17页 |
| 2.2 Pt薄膜微加热器的工作原理 | 第17-18页 |
| 2.3 Pt薄膜微加热器的特点 | 第18-19页 |
| 2.4 Pt薄膜微加热器材料 | 第19页 |
| 2.5 Pt薄膜微加热器基底材料 | 第19页 |
| 2.6 绝缘体材料 | 第19-20页 |
| 2.7 Pt薄膜微加热器的结构设计 | 第20-22页 |
| 2.8 本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 微加热器的温度场仿真模拟 | 第23-35页 |
| 3.1 有限元分析软件 | 第23页 |
| 3.2 研究问题 | 第23-24页 |
| 3.3 仿真过程 | 第24-32页 |
| 3.3.1 模型参数 | 第24-25页 |
| 3.3.2 仿真实验流程介绍 | 第25页 |
| 3.3.3 瞬态分析 | 第25-32页 |
| 3.4 模拟误差分析 | 第32页 |
| 3.5 本章小结 | 第32-35页 |
| 第4章 Pt薄膜微加热器的加工 | 第35-45页 |
| 4.1 MEMS制备工艺简介 | 第35-41页 |
| 4.1.1 硅片清洗 | 第35-37页 |
| 4.1.2 淀积绝缘层 | 第37-38页 |
| 4.1.3 光刻图像 | 第38-39页 |
| 4.1.4 刻蚀工艺 | 第39-41页 |
| 4.2 热电阻制备过程 | 第41-42页 |
| 4.2.1 热电阻制备工艺 | 第41-42页 |
| 4.3 本章小结 | 第42-45页 |
| 第5章 Pt薄膜微加热器的实验研究 | 第45-57页 |
| 5.1 实验系统 | 第46-50页 |
| 5.1.1 实验装置 | 第46页 |
| 5.1.2 实验工作电路设计 | 第46-47页 |
| 5.1.3 虚拟仪器 | 第47-50页 |
| 5.2 实验流程 | 第50-51页 |
| 5.2.1 完成试验台的搭建 | 第50-51页 |
| 5.2.2 实验流程介绍 | 第51页 |
| 5.2.3 实验条件设定 | 第51页 |
| 5.3 实验图像数据采集及分析 | 第51-54页 |
| 5.4 实验验证模拟的正确性 | 第54页 |
| 5.5 本章小结 | 第54-57页 |
| 第6章 总结以及展望 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
