| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-14页 |
| 1.1 电感式直线位移传感器研究现状 | 第10-11页 |
| 1.2 课题来源、目的和意义 | 第11-12页 |
| 1.2.1 课题来源 | 第11页 |
| 1.2.2 研究目的 | 第11-12页 |
| 1.2.3 研究意义 | 第12页 |
| 1.3 课题研究内容和方法 | 第12-14页 |
| 1.3.1 研究内容 | 第12-13页 |
| 1.3.2 研究方法 | 第13-14页 |
| 第2章 平面电感式直线位移传感器的基本原理 | 第14-27页 |
| 2.1 平面电感式直线位移传感器工作原理 | 第14-16页 |
| 2.2 激励线圈的理论模型 | 第16-23页 |
| 2.2.1 载流矩形线圈磁场分布 | 第16-22页 |
| 2.2.2 矩形线圈电感计算 | 第22-23页 |
| 2.3 接收线圈的理论模型 | 第23-24页 |
| 2.4 滑片的理论模型 | 第24-25页 |
| 2.5 本章小结 | 第25-27页 |
| 第3章 使用ANSYSMaxwell对理论建模进行仿真 | 第27-36页 |
| 3.1 仿真软件简介 | 第27-29页 |
| 3.2 激励线圈电磁仿真 | 第29-32页 |
| 3.3 敏感元件耦合电磁仿真 | 第32-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 敏感元件的设计和实验台搭建 | 第36-44页 |
| 4.1 定尺的结构设计与制作 | 第36-40页 |
| 4.2 滑片的结构设计与制作 | 第40页 |
| 4.3 实验台的搭建 | 第40-43页 |
| 4.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第5章 敏感元件性能测试实验 | 第44-57页 |
| 5.1 调试实验台 | 第44-47页 |
| 5.2 滑片与定尺之间不同距离测试实验 | 第47-48页 |
| 5.3 不同幅值的激励信号测试实验 | 第48-49页 |
| 5.4 滑片与定尺的水平位移实验 | 第49-56页 |
| 5.4.1 实验方法及初始电压 | 第49-50页 |
| 5.4.2 数据前期处理 | 第50-51页 |
| 5.4.3 实验数据分析 | 第51-56页 |
| 5.5 本章小结 | 第56-57页 |
| 第6章 总结与展望 | 第57-60页 |
| 6.1 总结 | 第57-58页 |
| 6.2 工作的展望 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和成果 | 第65-66页 |
| 附录A | 第66-67页 |
| 附录B | 第67-68页 |
| 附录C | 第68-69页 |
| 附录D | 第69-70页 |
| 附录E | 第70-71页 |
| 附录F | 第71-72页 |
| 附录G | 第72-73页 |
| 附录H | 第73页 |