| 摘要 | 第9-10页 |
| ABSTRACT | 第10页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 电感耦合等离子体离子源 | 第11-13页 |
| 1.1.1 电感耦合等离子体的形成 | 第12页 |
| 1.1.2 等离子体布居 | 第12-13页 |
| 1.2 电感耦合等离子体研究现状 | 第13-17页 |
| 1.2.1 电感耦合等离子体发展概述 | 第13-14页 |
| 1.2.2 等离子体工作气体 | 第14-15页 |
| 1.2.3 电感耦合等离子体实验测量方法 | 第15-16页 |
| 1.2.4 电感耦合等离子体数值模拟方法的发展 | 第16-17页 |
| 1.3 研究内容及目的 | 第17-19页 |
| 第二章 低温等离子体的基本特性 | 第19-28页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 低温等离子体概述 | 第19-20页 |
| 2.3 低温等离子体在平衡态下的组分计算 | 第20-21页 |
| 2.4 低温等离子体输运系数 | 第21-27页 |
| 2.4.1 粘滞系数 | 第22-24页 |
| 2.4.2 热导系数 | 第24-25页 |
| 2.4.3 扩散系数 | 第25-26页 |
| 2.4.4 电导系数 | 第26-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 基于Fluent的电感耦合等离子体数值模拟的研究 | 第28-42页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 电感耦合等离子体控制方程 | 第28-36页 |
| 3.2.1 流固区域及边界划分 | 第28-30页 |
| 3.2.2 全域内的电磁场方程求解及各源项表达式 | 第30-33页 |
| 3.2.3 等离子体区流动控制方程 | 第33-34页 |
| 3.2.4 边界条件设置 | 第34-35页 |
| 3.2.5 网格划分 | 第35-36页 |
| 3.3 电导率参数分析 | 第36-40页 |
| 3.3.1 电场分布 | 第36-37页 |
| 3.3.2 磁场及洛伦兹压力分布 | 第37-39页 |
| 3.3.3 焦耳热功率分布 | 第39-40页 |
| 3.4 基于Fluent的电感耦合等离子体数值模拟方法的实现 | 第40-41页 |
| 3.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 电感耦合等离子体数值模型 | 第42-50页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 采样锥对电感耦合等离子体参数的影响比较 | 第42-47页 |
| 4.2.1 气体温度分布 | 第42-44页 |
| 4.2.2 电子密度分布 | 第44-46页 |
| 4.2.3 速度分布 | 第46-47页 |
| 4.3 模型评价和改进 | 第47-49页 |
| 4.3.1 可对比性 | 第47页 |
| 4.3.2 模型改进 | 第47-49页 |
| 4.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 电感耦合等离子体参数分析 | 第50-62页 |
| 5.1 引言 | 第50页 |
| 5.2 负载线圈功率的影响 | 第50-54页 |
| 5.3 采样锥孔径的影响 | 第54-56页 |
| 5.4 中心气流量的影响 | 第56-58页 |
| 5.5 辅助气流量和大气环境压差的影响 | 第58-61页 |
| 5.6 本章小结 | 第61-62页 |
| 结束语 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第70-71页 |
| 附录 | 第71-75页 |
| 附录一 Saha方程迭代解的Matlab程序 | 第71-72页 |
| 附录二 UDS求解电磁场的C程序 | 第72-74页 |
| 附录三 用于UDF编译的Ar-ICP输运系数的C程序 | 第74-75页 |
