| 摘要 | 第10-11页 |
| Abstract | 第11页 |
| 第一章 绪论 | 第12-21页 |
| 1.1 论文研究背景及意义 | 第12-13页 |
| 1.2 国外研究综述 | 第13-17页 |
| 1.3 国内研究综述 | 第17-19页 |
| 1.4 论文主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 嵌套环式MEMS振动陀螺结构原理及频率裂解基本理论 | 第21-30页 |
| 2.1 嵌套环式MEMS振动陀螺的结构及工作原理 | 第21-26页 |
| 2.1.1 陀螺的基本结构 | 第21-22页 |
| 2.1.2 陀螺的工作原理 | 第22-26页 |
| 2.2 嵌套环式MEMS振动陀螺的加工工艺简述 | 第26-27页 |
| 2.3 频率裂解基本理论 | 第27-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 嵌套环式MEMS振动陀螺频率修调理论模型 | 第30-49页 |
| 3.1 环形谐振子的修调理论模型 | 第30-42页 |
| 3.1.1 扰动模型 | 第30-37页 |
| 3.1.2 修调模型 | 第37-42页 |
| 3.2 嵌套环结构的质量修调理论模型 | 第42-44页 |
| 3.2.1 质量扰动模型 | 第42-44页 |
| 3.2.2 质量修调模型 | 第44页 |
| 3.3 嵌套环结构的刚度修调理论模型 | 第44-48页 |
| 3.3.1 扰动与修调模型 | 第45-46页 |
| 3.3.2 静电修调算法 | 第46-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 基于ANSYS的频率修调仿真 | 第49-68页 |
| 4.1 ANSYS有限元仿真简介 | 第49-50页 |
| 4.1.1 有限元法及ANSYS简介 | 第49页 |
| 4.1.2 模态分析及其一般步骤 | 第49-50页 |
| 4.2 嵌套环谐振子的模态分析 | 第50-54页 |
| 4.2.1 谐振子有限元模型及其模态分析 | 第50-53页 |
| 4.2.2 刚性轴位置的判断 | 第53-54页 |
| 4.3 质量修调仿真 | 第54-60页 |
| 4.3.1 扰动模型仿真 | 第54-57页 |
| 4.3.2 修调模型仿真 | 第57-60页 |
| 4.4 径向刚度修调仿真 | 第60-66页 |
| 4.4.1 径向刚度扰动模型仿真 | 第60-62页 |
| 4.4.2 径向刚度修调模型仿真 | 第62-66页 |
| 4.5 本章小结 | 第66-68页 |
| 第五章 嵌套环谐振子的频率修调实验 | 第68-82页 |
| 5.1 谐振子的模态测试 | 第68-71页 |
| 5.1.1 模态测试的基本原理 | 第68-69页 |
| 5.1.2 嵌套环谐振子的频率裂解测定 | 第69-71页 |
| 5.2 频率修调实验 | 第71-81页 |
| 5.2.1 静电修调理论模型 | 第71-73页 |
| 5.2.2 静电修调方法 | 第73-75页 |
| 5.2.3 静电修调软件 | 第75-77页 |
| 5.2.4 静电修调实例 | 第77-81页 |
| 5.3 本章小结 | 第81-82页 |
| 第六章 总结与展望 | 第82-84页 |
| 6.1 全文总结 | 第82页 |
| 6.2 研究展望 | 第82-84页 |
| 致谢 | 第84-86页 |
| 参考文献 | 第86-91页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第91页 |