| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第16-23页 |
| 1.1 微加速度计的概述 | 第16页 |
| 1.2 微加速度计接口ASIC的概述 | 第16-21页 |
| 1.2.1 连续时间类型 | 第17-19页 |
| 1.2.2 开关电容检测类型 | 第19-21页 |
| 1.3 高性能微加速度计国内外研究现状 | 第21页 |
| 1.4 本论文的主要内容和章节安排 | 第21-23页 |
| 第二章 三轴电容式Sigma_Delta微加速度计的工作原理 | 第23-44页 |
| 2.1 工作原理 | 第23-33页 |
| 2.1.1 敏感结构部分 | 第23-27页 |
| 2.1.2 Sigma_Delta调制技术 | 第27-32页 |
| 2.1.3 静电力反馈 | 第32-33页 |
| 2.2 Sigma_Delta微加速度计结构及稳定性分析 | 第33-38页 |
| 2.2.1 三阶结构 | 第34-35页 |
| 2.2.2 四阶结构 | 第35-36页 |
| 2.2.3 五阶及更高阶结构 | 第36-38页 |
| 2.3 噪声分析 | 第38-42页 |
| 2.3.1 机械噪声 | 第38-39页 |
| 2.3.2 电路噪声 | 第39-42页 |
| 2.3.3 量化噪声 | 第42页 |
| 2.3.4 质量块残留运动噪声 | 第42页 |
| 2.4 本章小结 | 第42-44页 |
| 第三章 三轴微加速度计接口ASIC中的模块电路设计及其仿真结果 | 第44-75页 |
| 3.1 电容电压转换电路模块 | 第44-53页 |
| 3.1.1 全差分运放 | 第45-47页 |
| 3.1.2 开关 | 第47-50页 |
| 3.1.3 电容电压转换电路 | 第50-53页 |
| 3.2 采样保持与缓冲电路模块 | 第53-55页 |
| 3.3 二阶Sigma_Delta模数转换器模块 | 第55-61页 |
| 3.3.1 二阶积分器 | 第55-58页 |
| 3.3.2 比较器 | 第58-60页 |
| 3.3.3 二阶Sigma_Delta模数转换器 | 第60-61页 |
| 3.4 静电力反馈模块 | 第61-62页 |
| 3.5 带隙基准源模块 | 第62-66页 |
| 3.6 时钟产生电路模块 | 第66-74页 |
| 3.6.1 环形振荡器 | 第67-69页 |
| 3.6.2 弛张振荡器 | 第69-74页 |
| 3.7 本章小结 | 第74-75页 |
| 第四章 三轴电容式微加速度计接口ASIC系统仿真结果及版图设计 | 第75-80页 |
| 4.1 系统仿真结果 | 第75-78页 |
| 4.2 版图设计 | 第78-79页 |
| 4.3 本章小结 | 第79-80页 |
| 第五章 结论与展望 | 第80-81页 |
| 5.1 结论 | 第80页 |
| 5.2 展望 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-85页 |
| 攻读硕士期间的学术活动及成果情况 | 第85页 |
