| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.2 课题研究背景与意义 | 第9-10页 |
| 1.3 国内外研究现状及分析 | 第10-17页 |
| 1.3.1 基于分子动力学的纳米加工机理研究现状 | 第11-14页 |
| 1.3.2 多晶材料的分子动力学研究现状 | 第14-17页 |
| 1.3.3 国内外研究现状分析 | 第17页 |
| 1.4 论文主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 分子动力学基础理论及多晶铜仿真建模 | 第19-26页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 分子动力学仿真基础 | 第19-21页 |
| 2.2.1 分子动力学运动方程 | 第19页 |
| 2.2.2 运动方程积分算法的选择 | 第19-20页 |
| 2.2.3 仿真势函数和系综的选择 | 第20-21页 |
| 2.3 仿真结果分析方法 | 第21-23页 |
| 2.3.1 多晶铜内部结构分析 | 第21-22页 |
| 2.3.2 多晶铜内部应力分析 | 第22-23页 |
| 2.4 多晶铜模型的建立 | 第23-25页 |
| 2.4.1 多晶模型初步建立 | 第23-24页 |
| 2.4.2 多晶材料内部微观结构划分 | 第24-25页 |
| 2.5 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 多晶铜纳米刻划加工的分子动力学仿真研究 | 第26-39页 |
| 3.1 引言 | 第26页 |
| 3.2 多晶铜纳米刻划加工分子动力学仿真模型建立 | 第26-27页 |
| 3.3 多晶铜纳米刻划加工仿真结果 | 第27-36页 |
| 3.3.1 多晶铜压痕过程分析 | 第27-28页 |
| 3.3.2 刻划力变化过程 | 第28-30页 |
| 3.3.3 刻划过程中内部缺陷结构演变 | 第30-31页 |
| 3.3.4 刻划过程中工件原子应力分布 | 第31-32页 |
| 3.3.5 刻划过程中工件表面形貌分析 | 第32-33页 |
| 3.3.6 单个晶粒内部微观现象变化分析 | 第33-36页 |
| 3.4 仿真参数对纳米刻划加工的影响 | 第36-38页 |
| 3.4.1 多晶铜晶粒尺寸对纳米刻划加工影响 | 第36-37页 |
| 3.4.2 探针刻划速度对纳米刻划加工影响 | 第37-38页 |
| 3.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 金刚石刀具纳米切削加工多晶铜的仿真研究 | 第39-52页 |
| 4.1 引言 | 第39页 |
| 4.2 金刚石刀具纳米切削加工多晶铜的仿真模型建立 | 第39-40页 |
| 4.3 纳米切削加工仿真结果分析 | 第40-41页 |
| 4.4 加工参数对纳米切削加工过程的影响 | 第41-51页 |
| 4.4.1 不同切削深度的影响 | 第41-46页 |
| 4.4.2 不同切削加工次数的影响 | 第46-51页 |
| 4.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 多晶铜切削加工实验及纳米压痕研究 | 第52-63页 |
| 5.1 引言 | 第52页 |
| 5.2 金刚石刀具切削加工实验 | 第52-55页 |
| 5.2.1 切削加工实验准备 | 第52-54页 |
| 5.2.2 切削加工实验结果 | 第54-55页 |
| 5.3 加工后工件的纳米压痕仿真及实验研究 | 第55-61页 |
| 5.3.1 纳米压痕过程表面硬度计算方法 | 第56-57页 |
| 5.3.2 对已加工工件表面的纳米压痕仿真研究 | 第57-59页 |
| 5.3.3 切削加工实验得到的工件表面的纳米压痕实验研究 | 第59-61页 |
| 5.4 本章小结 | 第61-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 致谢 | 第69页 |