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N型准一维ZnS纳米带的可控合成及肖特基器件的研究

致谢第7-8页
摘要第8-9页
ABSTRACT第9页
第一章 绪论第15-31页
    1.1 引言第15-16页
    1.2 半导体纳米材料与ZnS纳米结构简介第16-19页
        1.2.1 纳米材料简介第16-18页
        1.2.2 一维ZnS纳米结构第18-19页
    1.3 纳米材料的合成方法第19-23页
        1.3.1 气相沉积法及一维ZnS纳米结构的气相合成第19-20页
        1.3.2 液相合成法及一维ZnS纳米结构的液相合成第20-21页
        1.3.3 纳米结构的生长机制第21-23页
    1.4 半导体纳米材料的应用第23-29页
        1.4.1 纳米器件的发展及研究现状第23-28页
        1.4.2 一维ZnS纳米结构的应用研究现状第28-29页
    1.5 本课题研究意义第29-31页
第二章 n型掺杂ZnS纳米带的可控合成及表征第31-42页
    2.1 实验药品与实验设备第31-36页
        2.1.1 实验药品第31页
        2.1.2 实验设备第31-36页
    2.2 n-ZnS纳米带的制备第36-37页
        2.2.1 准一维ZnS纳米结构的掺杂第36页
        2.2.2 Cl掺杂ZnS纳米带的合成第36-37页
    2.3 ZnS:Cl纳米带的表征第37-41页
        2.3.1 扫描电子显微镜(SEM)第37-38页
        2.3.2 透射电子显微镜(TEM)第38-39页
        2.3.3 X射线衍射分析(XRD)第39-40页
        2.3.4 X射线光电子能谱(XPS)第40-41页
    2.4 本章小结第41-42页
第三章 n-ZnS纳米带底栅带场效应管的制备及表征第42-49页
    3.1 分散纳米带第42-43页
    3.2 电极制备第43-46页
        3.2.1 Shadow mask模板法第43-44页
        3.2.2 光刻法第44-46页
    3.3 基于n型ZnS纳米带的底栅场效应器件第46-48页
        3.3.1 欧姆接触的形成第46页
        3.3.2 退火处理对接触的影响第46-47页
        3.3.3 Cl掺杂ZnS纳米带底栅场效应晶体管的电学特性第47-48页
    3.4 小结第48-49页
第四章 n-ZnS纳米带的肖特基器件第49-56页
    4.1 基于ZnS纳米带的肖特基器件的制备第50-51页
    4.2 基于ZnS纳米带肖特基势垒二极管的表征第51-52页
    4.3 基于n型ZnS纳米带的肖特基势垒二极管的紫外光响应特性第52-55页
    4.4 本章小结第55-56页
第五章 总结与展望第56-58页
    5.1 总结第56-57页
    5.2 展望第57-58页
参考文献第58-63页
攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况第63页

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