| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-24页 |
| 1.1 引言 | 第12页 |
| 1.2 类金刚石薄膜的应用 | 第12-14页 |
| 1.2.1 力学性能与应用 | 第12-13页 |
| 1.2.2 光学性能及应用 | 第13页 |
| 1.2.3 电学性能及应用 | 第13-14页 |
| 1.2.4 生物医学特性及应用 | 第14页 |
| 1.3 类金刚石薄膜的制备方法 | 第14-16页 |
| 1.3.1 物理气相沉积技术 | 第14-16页 |
| 1.3.2 化学气相沉积技术 | 第16页 |
| 1.3.3 液相沉积技术 | 第16页 |
| 1.4 类金刚石薄膜的发展现状 | 第16-22页 |
| 1.4.1 结构与分类 | 第16-18页 |
| 1.4.2 国内外研究现状 | 第18-22页 |
| 1.5 选题背景及研究内容 | 第22-24页 |
| 1.5.1 选题背景 | 第22页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第22-23页 |
| 1.5.3 课题来源 | 第23-24页 |
| 第二章 实验设备及方法 | 第24-34页 |
| 2.1 实验材料 | 第24页 |
| 2.2 镀膜设备 | 第24页 |
| 2.3 薄膜的制备与处理 | 第24-28页 |
| 2.3.1 薄膜制备工艺流程 | 第24-27页 |
| 2.3.2 热处理 | 第27-28页 |
| 2.4 薄膜组织与性能的表征方法 | 第28-34页 |
| 2.4.1 微观形貌分析 | 第28页 |
| 2.4.2 X射线衍射分析 | 第28-29页 |
| 2.4.3 拉曼光谱分析 | 第29-30页 |
| 2.4.4 傅里叶红外光谱分析 | 第30页 |
| 2.4.5 X射线光电子能谱分析 | 第30-31页 |
| 2.4.6 质谱分析 | 第31页 |
| 2.4.7 内应力 | 第31-32页 |
| 2.4.8 纳米压痕 | 第32页 |
| 2.4.9 摩擦磨损分析 | 第32页 |
| 2.4.10 3D白光干涉仪分析 | 第32-34页 |
| 第三章 氢对类金刚石薄膜的结构和性能影响 | 第34-52页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 DSC结果及退火温度的确定 | 第34-36页 |
| 3.3 氢的存在形式 | 第36-40页 |
| 3.4 含非键合氢的类金刚石薄膜的微观结构和微观形貌表征 | 第40-48页 |
| 3.4.1 X射线衍射分析 | 第40-41页 |
| 3.4.2 拉曼光谱和X射线光电子能谱 | 第41-44页 |
| 3.4.3 微观形貌表征 | 第44-48页 |
| 3.5 薄膜的力学性能与耐磨性 | 第48-51页 |
| 3.6 本章小结 | 第51-52页 |
| 第四章 掺硅对含氢类金刚石薄膜的结构和性能影响 | 第52-72页 |
| 4.1 引言 | 第52页 |
| 4.2 氢的存在形式 | 第52-54页 |
| 4.3 微观结构和微观形貌表征 | 第54-68页 |
| 4.3.1 X射线衍射分析 | 第54-55页 |
| 4.3.2 拉曼光谱 | 第55-58页 |
| 4.3.3 X射线光电子能谱 | 第58-63页 |
| 4.3.4 微观形貌表征 | 第63-68页 |
| 4.4 薄膜的力学性能与耐磨性 | 第68-71页 |
| 4.5 本章小结 | 第71-72页 |
| 第五章 结论与展望 | 第72-74页 |
| 5.1 论文的主要结论 | 第72-73页 |
| 5.2 本研究的主要创新点 | 第73页 |
| 5.3 研究展望 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-82页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第82-84页 |
| 致谢 | 第84-86页 |
| 附件 | 第86页 |