| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第10-11页 |
| 1.1.1 研究背景 | 第10页 |
| 1.1.2 研究意义 | 第10-11页 |
| 1.2 磁控溅射技术 | 第11-13页 |
| 1.2.1 磁控溅射技术原理 | 第11-13页 |
| 1.2.2 磁控溅射技术分类 | 第13页 |
| 1.3 HPPMS技术概念及其研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3.1 HPPMS技术概念 | 第13页 |
| 1.3.2 HPPMS技术国内外研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3.3 HPPMS电源国内外发展现状 | 第14-15页 |
| 1.4 本文的研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 HPPMS电源电路拓扑设计 | 第16-38页 |
| 2.1 HPPMS电源结构框图与工作原理 | 第16-17页 |
| 2.2 HPPMS电源主要技术指标 | 第17页 |
| 2.3 直流充电电源拓扑结构及工作原理 | 第17页 |
| 2.4 三相整流电路设计 | 第17-19页 |
| 2.4.1 三相整流桥计算与选取 | 第18页 |
| 2.4.2 输入电容C_(in)选择 | 第18-19页 |
| 2.5 全桥逆变电路设计 | 第19-25页 |
| 2.5.1 全桥逆变电路拓扑结构及工作原理 | 第19-20页 |
| 2.5.2 移相全桥软开关工作原理分析 | 第20-23页 |
| 2.5.3 开关器件选择 | 第23页 |
| 2.5.4 全桥逆变电路元器件参数计算 | 第23-24页 |
| 2.5.5 IGBT驱动电路设计 | 第24-25页 |
| 2.6 高频变压器设计 | 第25-26页 |
| 2.6.1 高频变压器磁芯选取 | 第25页 |
| 2.6.2 高频变压器参数计算 | 第25-26页 |
| 2.7 脉冲发生电路设计 | 第26-33页 |
| 2.7.1 Marx脉冲发生器拓扑结构与工作原理分析 | 第26-27页 |
| 2.7.2 改进两级脉冲发生电路设计 | 第27-32页 |
| 2.7.3 储能电容组选型 | 第32-33页 |
| 2.7.4 IGBT矩阵电路设计及选型 | 第33页 |
| 2.8 电磁干扰抑制电路设计 | 第33-35页 |
| 2.9 采样与保护电路设计 | 第35-37页 |
| 2.9.1 电压采样电路设计 | 第35-36页 |
| 2.9.2 电流采样电路设计 | 第36页 |
| 2.9.3 过流及短路电路保护电路设计 | 第36-37页 |
| 2.10 本章小结 | 第37-38页 |
| 第3章 HPPMS电源控制系统设计 | 第38-63页 |
| 3.1 控制算法研究与分析 | 第38-43页 |
| 3.1.1 PI双闭环切换控制分析 | 第38-39页 |
| 3.1.2 PI电流前馈控制与模糊控制分析 | 第39页 |
| 3.1.3 PI电压环与滑模变结构电流环控制分析 | 第39-40页 |
| 3.1.4 变速积分PI控制分析 | 第40-41页 |
| 3.1.5 重复控制分析 | 第41-42页 |
| 3.1.6 复合控制算法选择与设计 | 第42-43页 |
| 3.2 控制对象建模分析 | 第43-46页 |
| 3.3 复合控制器设计 | 第46-53页 |
| 3.3.1 改进型重复控制器设计 | 第46-51页 |
| 3.3.2 变速积分PI控制器设计 | 第51-53页 |
| 3.4 DSP与单片机双控制系统设计 | 第53-62页 |
| 3.4.1 DSP控制系统设计 | 第54-56页 |
| 3.4.2 单片机控制系统设计 | 第56-57页 |
| 3.4.3 DSP与单片机通信设计 | 第57-59页 |
| 3.4.4 系统控制程序设计实现 | 第59-62页 |
| 3.5 本章小结 | 第62-63页 |
| 第4章 HPPMS电源仿真分析 | 第63-72页 |
| 4.1 直流充电电源开环仿真分析 | 第63-66页 |
| 4.2 脉冲发生器Simulink仿真分析 | 第66-69页 |
| 4.3 直流充电电源的闭环Simulink仿真分析 | 第69-71页 |
| 4.4 本章小结 | 第71-72页 |
| 第5章 HPPMS电源实验分析 | 第72-75页 |
| 5.1 实验结果分析 | 第72-74页 |
| 5.1.1 直流充电电源闭环实验结果分析 | 第72-73页 |
| 5.1.2 脉冲发生电路实验结果分析 | 第73-74页 |
| 5.2 本章小结 | 第74-75页 |
| 第6章 总结与展望 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-80页 |
| 附录 | 第80-81页 |
| 作者简介 | 第81-82页 |
| 攻读硕士学位期间研究成果 | 第82页 |