| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外发展动态 | 第10-12页 |
| 1.2.1 国外发展动态 | 第10-11页 |
| 1.2.2 国内发展现状 | 第11-12页 |
| 1.3 本文的工作安排 | 第12-13页 |
| 第二章 MEMS谐振器设计 | 第13-34页 |
| 2.1 MEMS谐振器设计原理 | 第13-20页 |
| 2.1.1 MEMS电容式谐振器 | 第13-16页 |
| 2.1.2 压电式MEMS谐振器 | 第16-20页 |
| 2.1.3 MEMS谐振器的实现方式 | 第20页 |
| 2.2 TPoSMEMS谐振器等效模型 | 第20-25页 |
| 2.2.1 机电类比法 | 第20-22页 |
| 2.2.2 压电式MEMS谐振器等效电路模型 | 第22-25页 |
| 2.3 谐振器的仿真 | 第25-29页 |
| 2.3.1 谐振器的Q值 | 第25-26页 |
| 2.3.2 谐振器的仿真 | 第26-29页 |
| 2.4 TPoS压电MEMS谐振器加工 | 第29-31页 |
| 2.5 谐振器测试 | 第31-33页 |
| 2.6 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 MEMS振荡器研究 | 第34-54页 |
| 3.1 振荡器基本原理 | 第34-37页 |
| 3.1.1 反馈型振荡器 | 第34-36页 |
| 3.1.2 负阻型振荡器 | 第36-37页 |
| 3.2 振荡器的相位噪声 | 第37-44页 |
| 3.2.1 相位噪声定义 | 第37-39页 |
| 3.2.2 振荡器的相位噪声模型 | 第39-44页 |
| 3.3 振荡器设计 | 第44-53页 |
| 3.3.1 MEMS谐振器等效电路参数值提取 | 第44-45页 |
| 3.3.2 振荡器设计 | 第45-49页 |
| 3.3.3 振荡器测试 | 第49-53页 |
| 3.4 本章总结 | 第53-54页 |
| 第四章 MEMS振荡器的频率补偿 | 第54-78页 |
| 4.1 MEMS振荡器的温度特性 | 第54页 |
| 4.2 恒温型温度补偿 | 第54-57页 |
| 4.2.1 温度控制系统 | 第55页 |
| 4.2.2 恒温型温度补偿系统测试 | 第55-57页 |
| 4.3 温度控制锁相频率合成型温度补偿 | 第57-77页 |
| 4.3.1 小数分频锁相环设计 | 第57-68页 |
| 4.3.2 温度传感器 | 第68-70页 |
| 4.3.3 数字多项式校准 | 第70-73页 |
| 4.3.4 温度控制锁相频率合成型温度补偿系统程序控制 | 第73-74页 |
| 4.3.5 温度控制锁相频率合成型温度补偿系统测试 | 第74-77页 |
| 4.4 本章小结 | 第77-78页 |
| 第五章 本文总结与展望 | 第78-80页 |
| 5.1 本文工作总结 | 第78-79页 |
| 5.2 文章不足与改进 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-84页 |