| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第12-18页 |
| 1.1 光纤传感技术 | 第12-13页 |
| 1.2 光纤传感器的分类 | 第13-14页 |
| 1.3 光纤压力传感器的分类 | 第14-16页 |
| 1.3.1 强度调制型光纤压力传感器 | 第14-15页 |
| 1.3.2 波长调制型光纤压力传感器 | 第15页 |
| 1.3.3 相位调制型光纤压力传感器 | 第15-16页 |
| 1.3.4 偏振调制型光纤压力传感器 | 第16页 |
| 1.4 光纤珐珀压力传感器的研究状况 | 第16-17页 |
| 1.5 本论文的研究意义和论文结构 | 第17-18页 |
| 第二章 光纤珐珀应变传感器和光纤珐珀压力传感器的基本原理 | 第18-26页 |
| 2.1 光纤珐珀传感器 | 第18-23页 |
| 2.1.1 光学珐珀干涉仪的理论介绍 | 第18-19页 |
| 2.1.2 光纤珐珀传感器的分类 | 第19-20页 |
| 2.1.3 光纤珐珀传感器的解调 | 第20-23页 |
| 2.2 光纤珐珀应变传感器 | 第23页 |
| 2.3 光纤珐珀压力传感器 | 第23-25页 |
| 2.3.1 光纤珐珀压力传感器的分类 | 第23-24页 |
| 2.3.2 光纤珐珀压力传感器的传感原理 | 第24-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 应变式光纤珐珀压力传感器的原理及ANSYS仿真 | 第26-36页 |
| 3.1 平面圆膜片的受力分析 | 第26-29页 |
| 3.2 弹性膜片尺寸的确定 | 第29-30页 |
| 3.3 ANSYS软件模拟 | 第30-34页 |
| 3.3.1 ANSYS软件介绍 | 第30-31页 |
| 3.3.2 有限单元法的介绍 | 第31-32页 |
| 3.3.3 ANSYS软件模拟周边固支的平面圆膜片结构 | 第32-34页 |
| 3.4 对比理论分析和模拟仿真的结果 | 第34-35页 |
| 3.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 圆平膜片结构的应变式光纤珐珀压力传感器 | 第36-46页 |
| 4.1 光纤珐珀传感器的制作 | 第36-38页 |
| 4.1.1 157 nm激光器 | 第36-37页 |
| 4.1.2 光纤珐珀传感器的制作过程 | 第37-38页 |
| 4.2 圆平膜片结构的应变式光纤珐珀压力传感器的封装 | 第38-39页 |
| 4.3 实验结果 | 第39-44页 |
| 4.3.1 测试装置 | 第39-40页 |
| 4.3.2 灵敏度测试与量程测试 | 第40页 |
| 4.3.3 重复性测试 | 第40-42页 |
| 4.3.4 稳定性测试 | 第42-43页 |
| 4.3.5 准确性测试 | 第43页 |
| 4.3.6 温度测试 | 第43-44页 |
| 4.4 应变式压力传感器的液位测试 | 第44-45页 |
| 4.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 第五章 梁膜结构的应变式光纤珐珀压力传感器 | 第46-61页 |
| 5.1 圆平膜片结构的压力传感器的缺点 | 第46页 |
| 5.2 ANSYS软件模拟不同尺寸的梁膜结构 | 第46-54页 |
| 5.2.1 ANSYS分析确定梁的厚度 | 第48-50页 |
| 5.2.2 ANSYS分析确定梁的长度 | 第50-51页 |
| 5.2.3 ANSYS分析确定梁的宽度 | 第51-54页 |
| 5.3 实验结果 | 第54-60页 |
| 5.3.1 灵敏度测试与量程测试 | 第55-56页 |
| 5.3.2 重复性测试 | 第56-59页 |
| 5.3.3 准确性测试 | 第59-60页 |
| 5.3.4 温度测试 | 第60页 |
| 5.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 第六章 结论与展望 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第66-67页 |
