高精度共光路微分剪切干涉仪的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题研究的目的和意义 | 第9页 |
| 1.2 表面分析技术发展现状 | 第9-14页 |
| 1.3 本文研究的主要内容 | 第14-16页 |
| 第2章 微分相移干涉测量原理 | 第16-33页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 自适应原则 | 第16-18页 |
| 2.3 照明系统 | 第18-21页 |
| 2.3.1 照明方法的选择 | 第18-20页 |
| 2.3.2 照明系统设计 | 第20-21页 |
| 2.4 微分剪切系统 | 第21-25页 |
| 2.5 移相系统 | 第25-28页 |
| 2.6 图像传感器 | 第28页 |
| 2.7 图像处理 | 第28-32页 |
| 2.7.1 图像预处理 | 第29页 |
| 2.7.2 图像相位提取 | 第29-31页 |
| 2.7.3 图像表面形貌重构 | 第31-32页 |
| 2.8 检测系统整体设计 | 第32页 |
| 2.9 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 表面检测系统仿真及图像处理 | 第33-52页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 光学设计软件 | 第33页 |
| 3.3 光源准直与滤波 | 第33-39页 |
| 3.3.1 空间滤波器 | 第34-36页 |
| 3.3.2 起偏器 | 第36-38页 |
| 3.3.3 干涉滤光片 | 第38-39页 |
| 3.4 分光棱镜 | 第39-42页 |
| 3.5 微分剪切 | 第42-45页 |
| 3.5.1 双折射单轴晶体材料 | 第42-44页 |
| 3.5.2 双折射偏振棱镜 | 第44-45页 |
| 3.6 移相器 | 第45-46页 |
| 3.7 微分移相干涉系统总体仿真 | 第46-51页 |
| 3.8 本章小结 | 第51-52页 |
| 第4章 实验结果与误差分析 | 第52-59页 |
| 4.1 引言 | 第52页 |
| 4.2 样品检测及粗糙度计算 | 第52-56页 |
| 4.3 粗糙度计算 | 第56-57页 |
| 4.4 系统测量精度 | 第57页 |
| 4.5 系统误差分析 | 第57-58页 |
| 4.6 本章小结 | 第58-59页 |
| 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
