| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 引言 | 第10-22页 |
| 1.1 课题来源 | 第10页 |
| 1.2 研究意义及目的 | 第10-11页 |
| 1.3 砂轮表面形貌测量方法及发展现状 | 第11-16页 |
| 1.4 自动对焦技术及现状 | 第16-19页 |
| 1.4.1 主动式对焦 | 第16页 |
| 1.4.2 被动式对焦 | 第16-18页 |
| 1.4.3 白光干涉系统的自动对焦 | 第18-19页 |
| 1.5 本文的主要内容 | 第19-22页 |
| 第2章 白光垂直扫描干涉仪 | 第22-38页 |
| 2.1 白光垂直扫描干涉法基本原理 | 第22页 |
| 2.2 系统总体结构 | 第22-23页 |
| 2.3 位移测量部分 | 第23-25页 |
| 2.4 垂直方向运动部分 | 第25-34页 |
| 2.4.1 粗级控制结构 | 第25-29页 |
| 2.4.2 精级控制结构 | 第29-34页 |
| 2.5 水平方向运动与旋转运动的控制 | 第34-35页 |
| 2.5.1 水平方向控制 | 第34页 |
| 2.5.2 旋转方向控制 | 第34-35页 |
| 2.6 光学系统及参数 | 第35-37页 |
| 2.6.1 镜筒及白光光源 | 第35-36页 |
| 2.6.2 干涉物镜 | 第36页 |
| 2.6.3 CCD 摄像头 | 第36-37页 |
| 2.7 本章小结 | 第37-38页 |
| 第3章 垂直方向自动采集算法 | 第38-54页 |
| 3.1 常用的自动对焦算法 | 第38-39页 |
| 3.1.1 灰度方差法 | 第38页 |
| 3.1.2 Sobel 算子梯度法 | 第38-39页 |
| 3.2 白光干涉仪自动采集的特殊性 | 第39-40页 |
| 3.3 基于帧差法自动扫描算法 | 第40-48页 |
| 3.3.1 方法一：对图像二值化来确定干涉区间 | 第42-47页 |
| 3.3.2 方法二：根据各像素灰度变化率的大小来确定干涉区间 | 第47-48页 |
| 3.4 实验结果及分析 | 第48-52页 |
| 3.5 本章小结 | 第52-54页 |
| 第4章 垂直方向控制策略优化及平移回转运动的实现 | 第54-64页 |
| 4.1 步进电机与压电陶瓷接力控制 | 第54-55页 |
| 4.2 快速缩减初始扫描范围 | 第55-58页 |
| 4.3 砂轮宽度的确定 | 第58-60页 |
| 4.4 平移及旋转方向控制 | 第60-62页 |
| 4.5 本章小结 | 第62-64页 |
| 第5章 系统测量控制的软件实现 | 第64-72页 |
| 5.1 总体框架 | 第64-69页 |
| 5.1.1 CCD 控制程序 | 第64-65页 |
| 5.1.2 电机控制程序 | 第65-66页 |
| 5.1.3 压电陶瓷微动台控制程序 | 第66-68页 |
| 5.1.4 光栅读数程序 | 第68-69页 |
| 5.2 软件界面 | 第69-71页 |
| 5.3 软件使用步骤 | 第71页 |
| 5.4 软件使用注意事项 | 第71页 |
| 5.5 本章小结 | 第71-72页 |
| 第6章 总结与展望 | 第72-74页 |
| 6.1 总结 | 第72页 |
| 6.2 本文主要创新点 | 第72-73页 |
| 6.3 展望 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-80页 |
| 致谢 | 第80-82页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第82页 |