| 中文摘要 | 第4-5页 |
| 英文摘要 | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 研究意义 | 第9页 |
| 1.2 空心阴极辉光放电 | 第9-10页 |
| 1.3 微空心阴极辉光放电 | 第10-11页 |
| 1.4 阴极溅射的机理 | 第11-13页 |
| 1.4.1 溅射过程分析 | 第11-13页 |
| 1.4.2 溅射的类型 | 第13页 |
| 1.5 研究进展 | 第13-15页 |
| 1.6 本论文的创新性 | 第15-16页 |
| 2 氮气微空心阴极放电PIC/MCC 混合模型 | 第16-20页 |
| 2.1 粒子初始状态安置 | 第16页 |
| 2.2 粒子和场的权重分配方法 | 第16-18页 |
| 2.3 PIC/MCC 混合模型 | 第18-20页 |
| 3 溅射原子热化过程理论模型 | 第20-26页 |
| 3.1 溅射率 | 第20-22页 |
| 3.2 热化过程 | 第22页 |
| 3.3 微空心放电中溅射过程的模拟 | 第22-26页 |
| 4 氮气微空心阴极放电空间等离子体模拟结果与分析 | 第26-31页 |
| 4.1 放电几何和放电参数 | 第26-27页 |
| 4.2 放电空间氮离子(N_2~+,N~+)的密度分布 | 第27-28页 |
| 4.3 放电空间氮离子(N_2~+,N~+)的平均能量分布 | 第28-29页 |
| 4.4 放电空间的电势和电场分布 | 第29-30页 |
| 4.5 本章小结 | 第30-31页 |
| 5 阴极附近氮离子的行为及随参数的变化模拟结果与分析 | 第31-39页 |
| 5.1 阴极附近氮离子(N_2~+,N~+)的密度和平均能量的分布 | 第31-33页 |
| 5.2 阴极附近氮离子(N_2~+,N~+)的密度随参数(P,V,T)的变化 | 第33-35页 |
| 5.3 阴极附近氮离子(N_2~+,N~+)的平均能量随参数(P,V,T)的变化 | 第35-38页 |
| 5.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 6 氮气微空心阴极放电溅射Ti 原子的行为及热化过程 | 第39-46页 |
| 6.1 溅射率 | 第39-40页 |
| 6.2 溅射Ti 原子的初始分布 | 第40-41页 |
| 6.3 溅射Ti 原子的热化过程 | 第41-43页 |
| 6.4 溅射Ti 原子的行为分布 | 第43-45页 |
| 6.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 7 结论 | 第46-48页 |
| 参考文献 | 第48-53页 |
| 致谢 | 第53页 |
