| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 目录 | 第10-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-25页 |
| 1.1 微机电系统 | 第13-16页 |
| 1.1.1 微机电系统概念及特点 | 第13-14页 |
| 1.1.2 MEMS技术国内外研究动态 | 第14-15页 |
| 1.1.3 MEMS技术的应用 | 第15-16页 |
| 1.2 MEMS微开关技术的发展和研究现状 | 第16-21页 |
| 1.2.1 MEMS微开关发展概况 | 第16-18页 |
| 1.2.2 常见MEMS微开关工作原理 | 第18-20页 |
| 1.2.3 微开关设计与研制中面临的关键问题 | 第20-21页 |
| 1.3 论文的研究目的及主要工作 | 第21-25页 |
| 1.3.1 论文的研究目的 | 第21-22页 |
| 1.3.2 论文的主要工作 | 第22-25页 |
| 第二章 微开关触点弹性接触特性研究 | 第25-43页 |
| 2.1 概述 | 第25页 |
| 2.2 触点黏着模型 | 第25-29页 |
| 2.2.1 Lennard-Jones势能定理和Harmaker假设 | 第25-26页 |
| 2.2.2 单原子-球体黏着接触力 | 第26-27页 |
| 2.2.3 球体-平面黏着接触力 | 第27-28页 |
| 2.2.4 球体-平面黏着接触的弹性模型 | 第28-29页 |
| 2.3 洁净金属触点的接触研究 | 第29-37页 |
| 2.3.1 接触表面黏着力和变形 | 第30页 |
| 2.3.2 洁净金属触点弹性接触研究 | 第30-34页 |
| 2.3.3 黏着和无黏着接触模型对比分析 | 第34-37页 |
| 2.4 污染表面接触研究 | 第37-41页 |
| 2.5 本章小结 | 第41-43页 |
| 第三章 微开关触点弹塑性接触特性研究 | 第43-63页 |
| 3.1 概述 | 第43-45页 |
| 3.2 弹性和塑性接触区域及应力应变研究 | 第45-49页 |
| 3.2.1 塑性接触基本假设 | 第45页 |
| 3.2.2 弹性-塑性变形接触应力分析 | 第45-48页 |
| 3.2.3 塑性变形区域的确定 | 第48-49页 |
| 3.3 洁净触点闭合过程动态模拟 | 第49-59页 |
| 3.3.1 弹-塑性模型应力应变关系及屈服极限的确定 | 第49-52页 |
| 3.3.2 弹-塑性模型接触应力研究 | 第52-56页 |
| 3.3.3 弹-塑性模型接触力研究 | 第56-57页 |
| 3.3.4 弹-塑性模型接触面积研究 | 第57-59页 |
| 3.4 污染触点塑性接触研究 | 第59-61页 |
| 3.4.1 污染触点应力分析 | 第59-60页 |
| 3.4.2 污染接触点接触面积研究 | 第60-61页 |
| 3.5 本章小结 | 第61-63页 |
| 第四章 金属表面电接触研究 | 第63-91页 |
| 4.1 概述 | 第63-65页 |
| 4.2 微开关电接触问题提出 | 第65-66页 |
| 4.3 隧道电流理论 | 第66-74页 |
| 4.3.1 矩形势垒下电极间隧道电流密度 | 第66-69页 |
| 4.3.2 典型模型的隧道电流密度计算公式 | 第69-71页 |
| 4.3.3 球形触点隧道电流计算 | 第71-74页 |
| 4.4 刚性触点电接触研究 | 第74-79页 |
| 4.4.1 刚性圆柱体触点电接触研究 | 第74-75页 |
| 4.4.2 刚性球体和刚性平面电接触研究 | 第75-79页 |
| 4.5 弹-塑性模型电接触研究 | 第79-83页 |
| 4.5.1 弹塑性电接触模型 | 第79-80页 |
| 4.5.2 刚性球体和弹性-塑性平面电接触仿真分析 | 第80-83页 |
| 4.6 粗糙表面的接触电阻研究 | 第83-89页 |
| 4.6.1 粗糙表面模型 | 第83-85页 |
| 4.6.2 粗糙表面电接触仿真分析 | 第85-87页 |
| 4.6.3 弹-塑性电接触计算结果与实验对比 | 第87-89页 |
| 4.7 本章小结 | 第89-91页 |
| 第五章 永磁微小型加速度开关设计与分析 | 第91-113页 |
| 5.1 概述 | 第91-92页 |
| 5.2 受控于加速度阈值的开关结构和工作原理 | 第92-93页 |
| 5.3 永磁体的磁力计算 | 第93-94页 |
| 5.4 空气阻尼计算 | 第94-98页 |
| 5.4.1 谐波扰动下阻尼力的计算 | 第95-96页 |
| 5.4.2 阻尼力的叠加 | 第96-97页 |
| 5.4.3 任意运动状态下矩形平板所受空气阻尼力计算 | 第97-98页 |
| 5.5 开关静态设计原则 | 第98-101页 |
| 5.6 开关动力学分析模型 | 第101-103页 |
| 5.6.1 开关初始状态 | 第101-102页 |
| 5.6.2 加速度激励下开关动力学模型 | 第102页 |
| 5.6.3 开关断开状态动力学模型 | 第102-103页 |
| 5.7 微加速度开关工作过程的动态仿真 | 第103-111页 |
| 5.7.1 设计参数 | 第103页 |
| 5.7.2 开关的动态仿真 | 第103-106页 |
| 5.7.3 微加速度开关结构参数正交设计 | 第106-108页 |
| 5.7.4 微加速度开关接触压力的极差与方差分析 | 第108-111页 |
| 5.8 本章小结 | 第111-113页 |
| 第六章 总结与展望 | 第113-116页 |
| 6.1 主要工作与结论 | 第113-114页 |
| 6.2 展望 | 第114-116页 |
| 致谢 | 第116-117页 |
| 参考文献 | 第117-125页 |
| 攻读博士学位期间的研究成果 | 第125页 |
| 学术论文 | 第125页 |
| 参加的科研项目 | 第125页 |
