涡旋干泵内气体流动的数值模拟研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 概述 | 第11-12页 |
| 1.1.1 涡旋干式真空泵的特点 | 第11-12页 |
| 1.1.2 涡旋干式真空泵的应用 | 第12页 |
| 1.2 涡旋泵国内外发展现状 | 第12-13页 |
| 1.3 涡旋真空泵的研究现状及存在问题 | 第13-15页 |
| 1.3.1 国内外研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3.2 存在问题 | 第14-15页 |
| 1.4 课题研究背景 | 第15-16页 |
| 1.5 课题来源和意义 | 第16-17页 |
| 1.5.1 课题来源 | 第16页 |
| 1.5.2 课题意义 | 第16-17页 |
| 1.6 课题研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 涡旋干式真空泵与CFD理论 | 第19-27页 |
| 2.1 涡旋干式真空泵结构及工作原理 | 第19-20页 |
| 2.1.1 涡旋干式真空泵结构 | 第19-20页 |
| 2.1.2 涡旋真空泵的工作原理 | 第20页 |
| 2.2 涡旋干式真空泵的啮合理论 | 第20-22页 |
| 2.2.1 涡旋型线 | 第20-22页 |
| 2.3 涡旋干式真空泵的关键技术问题 | 第22-24页 |
| 2.3.1 密封结构 | 第22-24页 |
| 2.3.2 润滑 | 第24页 |
| 2.4 涡旋干式真空泵主要性能参数 | 第24-27页 |
| 2.4.1 间隙大小 | 第24页 |
| 2.4.2 抽气速率 | 第24-25页 |
| 2.4.3 极限压力 | 第25页 |
| 2.4.4 所需功率 | 第25-27页 |
| 第3章 计算流体力学(CFD) | 第27-33页 |
| 3.1 CFD基本理论 | 第28-31页 |
| 3.1.1 基本控制方程 | 第28-29页 |
| 3.1.2 湍流模型 | 第29-31页 |
| 3.1.3 定解条件 | 第31页 |
| 3.2 CFD分析软件 | 第31-33页 |
| 第4章 单侧涡旋干泵内气体流动的CFD模拟 | 第33-57页 |
| 4.1 数值模型的建立 | 第33-39页 |
| 4.1.1 几何模型的建立 | 第33-34页 |
| 4.1.2 计算域网格生成 | 第34-35页 |
| 4.1.3 动网格方法 | 第35-38页 |
| 4.1.4 数值模拟基本设置 | 第38-39页 |
| 4.2 数值模拟结果分析 | 第39-55页 |
| 4.2.1 模拟结果与测试结果比较分析 | 第40-45页 |
| 4.2.2 涡旋干泵流动过程分析 | 第45-48页 |
| 4.2.3 涡旋干泵流场分析 | 第48-51页 |
| 4.2.4 涡旋干泵热场分析 | 第51-55页 |
| 4.3 总结 | 第55-57页 |
| 第5章 双侧涡旋干泵内气体流动的CFD模拟 | 第57-77页 |
| 5.1 泵腔流动区域几何模型建立及网格划分 | 第57-62页 |
| 5.1.1 几何模型建立 | 第58-61页 |
| 5.1.2 网格划分 | 第61-62页 |
| 5.2 动网格实现 | 第62-65页 |
| 5.3 数值模拟基本设置 | 第65-67页 |
| 5.3.1 边界条件设置 | 第65-66页 |
| 5.3.2 初始条件设置 | 第66-67页 |
| 5.4 区域模型求解计算 | 第67-68页 |
| 5.5 数值模拟结果分析 | 第68-76页 |
| 5.5.1 双侧涡旋干泵流动过程分析 | 第69-72页 |
| 5.5.2 泵腔内流场分析 | 第72-74页 |
| 5.5.3 泵腔内热场分析 | 第74-76页 |
| 5.6 总结 | 第76-77页 |
| 第6章 结论与展望 | 第77-80页 |
| 6.1 结论 | 第77-78页 |
| 6.2 展望 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第85页 |
