MEMS压力传感器芯片的数字前端设计
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 课题背景 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究与应用现状 | 第10-11页 |
| 1.2.1 国外发展现状 | 第10页 |
| 1.2.2 国内发展现状 | 第10-11页 |
| 1.3 课题研究意义 | 第11-12页 |
| 1.4 本文的结构安排 | 第12-13页 |
| 第2章 压力传感器理论分析与系统架构设计 | 第13-19页 |
| 2.1 压力传感器的基本理论 | 第13-17页 |
| 2.1.1 压阻效应 | 第13-14页 |
| 2.1.2 压力传感器电桥 | 第14-15页 |
| 2.1.3 压力传感器特性 | 第15-16页 |
| 2.1.4 压力传感器非理想因素 | 第16-17页 |
| 2.2 压力传感器系统架构设计 | 第17-18页 |
| 2.3 本章小结 | 第18-19页 |
| 第3章 数字前端分析与设计 | 第19-43页 |
| 3.1 ADC调制器数字后处理电路 | 第19-22页 |
| 3.1.1 Sigma-Delta ADC结构 | 第19-20页 |
| 3.1.2 数字抽取滤波器的设计实现 | 第20-22页 |
| 3.2 压力校准模块分析与设计 | 第22-27页 |
| 3.2.1 压力校准模块算法理论分析 | 第22-23页 |
| 3.2.2 压力校准模块算法方案 | 第23-24页 |
| 3.2.3 压力校准模块算法硬件实现 | 第24-26页 |
| 3.2.4 压力校准模块工作流程 | 第26-27页 |
| 3.3 时钟校准模块分析设计 | 第27-32页 |
| 3.3.1 时钟校准算法理论分析 | 第27-28页 |
| 3.3.2 时钟校准算法方案 | 第28-30页 |
| 3.3.3 时钟校准算法硬件实现 | 第30-32页 |
| 3.4 EEPROM控制电路设计 | 第32-34页 |
| 3.5 FSM设计 | 第34-36页 |
| 3.5.1 电源模式FSM | 第34-35页 |
| 3.5.2 校准模式FSM | 第35-36页 |
| 3.6 复位以及时钟模块分析与设计 | 第36-37页 |
| 3.6.1 复位模块的分析与设计 | 第36页 |
| 3.6.2 时钟模块的分析与设计 | 第36-37页 |
| 3.7 接口设计 | 第37-41页 |
| 3.7.1 传感器接口分析 | 第37-38页 |
| 3.7.2 SPI模块设计 | 第38-39页 |
| 3.7.3 IIC模块设计 | 第39-41页 |
| 3.8 本章小结 | 第41-43页 |
| 第4章 数字前端功能仿真 | 第43-55页 |
| 4.1 功能仿真 | 第43-44页 |
| 4.2 ADC数字后处理电路仿真 | 第44-45页 |
| 4.3 压力校准模块仿真 | 第45-46页 |
| 4.4 时钟校准仿真 | 第46-49页 |
| 4.5 EEPROM控制器电路仿真 | 第49-50页 |
| 4.6 FSM仿真 | 第50-51页 |
| 4.7 复位以及时钟模块仿真 | 第51-52页 |
| 4.8 SPI接口仿真 | 第52-53页 |
| 4.9 IIC接口仿真 | 第53-54页 |
| 4.10 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 数字前端的FPGA验证和芯片测试 | 第55-61页 |
| 5.1 FPGA物理实现流程 | 第55-56页 |
| 5.2 FPGA验证平台搭建 | 第56页 |
| 5.3 数字抽取滤波器的FPGA验证 | 第56-57页 |
| 5.4 芯片测试 | 第57-60页 |
| 5.4.1 时钟校准模块测试 | 第58-59页 |
| 5.4.2 EEPROM模块测试 | 第59-60页 |
| 5.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 结论 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
