| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-26页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第10-14页 |
| 1.1.1 微流控芯片技术的发展与应用 | 第10-11页 |
| 1.1.2 微流控芯片制作的材料选择 | 第11-12页 |
| 1.1.3 玻璃材料特点及精密成形加工方法 | 第12-14页 |
| 1.2 激光加工玻璃微通道的研究现状 | 第14-24页 |
| 1.2.1 玻璃微通道的激光加工技术分类 | 第14-17页 |
| 1.2.2 纳秒脉冲激光无裂损加工玻璃微通道国内外研究状况 | 第17-24页 |
| 1.3 论文研究意义 | 第24页 |
| 1.4 论文研究内容 | 第24-26页 |
| 第2章 实验材料、设备及研究方法 | 第26-34页 |
| 2.1 实验材料 | 第26-28页 |
| 2.1.1 熔融石英玻璃的性能 | 第26-27页 |
| 2.1.2 钠钙玻璃的性能 | 第27-28页 |
| 2.2 激光微加工系统及设备 | 第28-30页 |
| 2.3 实验研究方案设计 | 第30-32页 |
| 2.3.1 实验研究方法设计 | 第30-32页 |
| 2.3.2 实验结果测量方法及设备 | 第32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-34页 |
| 第3章 准分子激光刻蚀加工玻璃机理的实验研究 | 第34-48页 |
| 3.1 纳秒准分子激光损伤及刻蚀玻璃理论过程的初步分析 | 第34-36页 |
| 3.1.1 玻璃材料对准分子激光的吸收理论分析 | 第34-35页 |
| 3.1.2 玻璃材料与准分子激光的热效应刻蚀机制理论分析 | 第35页 |
| 3.1.3 玻璃材料与准分子激光的电离刻蚀机制理论分析 | 第35-36页 |
| 3.2 248nm准分子激光直接刻蚀石英玻璃的实验研究 | 第36-43页 |
| 3.2.1 248nm准分子激光与石英玻璃作用结果及机理分析 | 第37-41页 |
| 3.2.2 激光静态刻蚀石英玻璃发生裂损的相关诱因的研究 | 第41-43页 |
| 3.3 248nm准分子激光直接刻蚀钠钙玻璃的实验研究 | 第43-47页 |
| 3.3.1 248nm准分子激光与钠钙玻璃作用结果及机理分析 | 第43-46页 |
| 3.3.2 激光及材料表面状况对钠钙玻璃刻蚀结果的影响 | 第46-47页 |
| 3.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第4章 准分子激光加工玻璃表面微通道的实验研究 | 第48-56页 |
| 4.1 248nm准分子激光加工钠钙玻璃表面微通道的实验研究 | 第48-51页 |
| 4.1.1 工艺参数对加工结果的影响分析 | 第48-49页 |
| 4.1.2 加工工艺的改进及结果 | 第49-51页 |
| 4.2 248nm准分子激光加工石英玻璃表面微通道的实验研究 | 第51-54页 |
| 4.2.1 工艺参数对加工结果的影响分析 | 第51-53页 |
| 4.2.2 加工工艺的改进及结果 | 第53-54页 |
| 4.3 本章小结 | 第54-56页 |
| 第5章 激光加工系统辅助装置设计 | 第56-72页 |
| 5.1 透明平板厚度及表面位置快速测量方法的设计 | 第56-66页 |
| 5.1.1 激光三角法光线补偿测厚原理 | 第56-60页 |
| 5.1.2 透明平板厚度测量实验 | 第60-63页 |
| 5.1.3 准分子激光光刻投影加工透明平板的像面校准实验 | 第63-66页 |
| 5.2 激光加工系统控制软件的设计 | 第66-70页 |
| 5.2.1 控制软件的设计需求介绍 | 第66页 |
| 5.2.2 软件设计的硬件基础及开发环境介绍 | 第66-68页 |
| 5.2.3 控制软件的设计流程及用户界面 | 第68-70页 |
| 5.3 本章小结 | 第70-72页 |
| 结论 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
