含氨基酸酰胺类缓蚀剂的合成及性能评价
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第1章 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第8-9页 |
| 1.2 缓蚀剂概述 | 第9-13页 |
| 1.2.1 缓蚀剂定义 | 第9页 |
| 1.2.2 缓蚀剂的分类 | 第9页 |
| 1.2.3 缓蚀剂的研究方法 | 第9-13页 |
| 1.3 本课题研究进展 | 第13-15页 |
| 1.4 本课题问题的提出 | 第15页 |
| 1.5 本课题的研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 实验技术与方法 | 第17-23页 |
| 2.1 实验药品及仪器 | 第17页 |
| 2.1.1 实验药品 | 第17页 |
| 2.1.2 实验仪器 | 第17页 |
| 2.2 实验内容 | 第17-22页 |
| 2.2.1 试验材料及其处理方法 | 第17-18页 |
| 2.2.2 腐蚀介质的配制 | 第18页 |
| 2.2.3 失重法评价 | 第18页 |
| 2.2.4 电化学方法 | 第18-19页 |
| 2.2.5 表面形貌观察 | 第19页 |
| 2.2.6 X射线光电子能谱分析 | 第19-20页 |
| 2.2.7 吸附热力学研究 | 第20页 |
| 2.2.8 理论计算 | 第20-22页 |
| 2.3 本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 甘氨酸衍生物的合成及性能评价 | 第23-37页 |
| 3.1 引言 | 第23页 |
| 3.2 甘氨酸衍生物的合成 | 第23-26页 |
| 3.2.1 实验仪器与药品 | 第23-24页 |
| 3.2.2 合成步骤 | 第24-25页 |
| 3.2.3 产物结构 | 第25-26页 |
| 3.3 甘氨酸及其衍生物性能评价 | 第26-35页 |
| 3.3.1 失重测试结果与讨论 | 第26页 |
| 3.3.2 电化学方法测试结果与讨论 | 第26-30页 |
| 3.3.3 缓蚀表面形貌观察及讨论 | 第30-31页 |
| 3.3.4 X射线光电子能谱结果及讨论 | 第31-32页 |
| 3.3.5 吸附热力学研究 | 第32-33页 |
| 3.3.6 量子化学计算 | 第33-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-37页 |
| 第4章 蛋氨酸衍生物的合成及性能评价 | 第37-51页 |
| 4.1 引言 | 第37页 |
| 4.2 蛋氨酸衍生物的合成 | 第37-40页 |
| 4.2.1 实验仪器与药品 | 第37-38页 |
| 4.2.2 合成步骤 | 第38-39页 |
| 4.2.3 产物结构 | 第39-40页 |
| 4.3 蛋氨酸及其衍生物性能评价 | 第40-49页 |
| 4.3.1 失重测试结果与讨论 | 第40-41页 |
| 4.3.2 电化学方法测试结果与讨论 | 第41-44页 |
| 4.3.3 缓蚀表面形貌观察及讨论 | 第44-45页 |
| 4.3.4 X射线光电子能谱结果及讨论 | 第45-46页 |
| 4.3.5 吸附热力学研究 | 第46-47页 |
| 4.3.6 量子化学计算 | 第47-49页 |
| 4.4 本章小结 | 第49-51页 |
| 第5章 组氨酸二聚体的合成及性能评价 | 第51-65页 |
| 5.1 引言 | 第51页 |
| 5.2 组氨酸二聚体的合成 | 第51-54页 |
| 5.2.1 实验仪器与药品 | 第51-52页 |
| 5.2.2 合成步骤 | 第52-53页 |
| 5.2.3 产物结构 | 第53-54页 |
| 5.3 组氨酸及其二聚体性能评价 | 第54-63页 |
| 5.3.1 失重测试结果与讨论 | 第54页 |
| 5.3.2 电化学方法测试结果与讨论 | 第54-58页 |
| 5.3.3 缓蚀表面形貌观察及讨论 | 第58-59页 |
| 5.3.4 X射线光电子能谱结果及讨论 | 第59-60页 |
| 5.3.5 吸附热力学研究 | 第60页 |
| 5.3.6 量子化学计算 | 第60-63页 |
| 5.4 本章小结 | 第63-65页 |
| 第6章 结论与建议 | 第65-67页 |
| 6.1 结论 | 第65-66页 |
| 6.2 展望 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及科研成果 | 第73页 |
