摘要 | 第3-4页 |
Abstract | 第4页 |
1 前言 | 第7-17页 |
1.1 绪论 | 第7-8页 |
1.2 光栅的应用 | 第8-9页 |
1.3 光栅的性能要求 | 第9-10页 |
1.4 薄膜的制备技术 | 第10-11页 |
1.4.1 物理法 | 第10页 |
1.4.2 化学法 | 第10-11页 |
1.5 光栅的制备技术 | 第11-14页 |
1.5.1 母板制备技术 | 第11-12页 |
1.5.2 光栅复制 | 第12页 |
1.5.3 感光溶胶凝胶与掩膜法制备工艺 | 第12-14页 |
1.6 有机染料掺杂材料的应用 | 第14-15页 |
1.7 实验目的意义及主要内容 | 第15-17页 |
2 实验仪器与方法 | 第17-25页 |
2.1 实验所用主要试剂 | 第17页 |
2.2 薄膜制备设备及方法 | 第17-19页 |
2.2.1 凝胶膜制备设备 | 第17-18页 |
2.2.2 凝胶膜微细加工设备 | 第18-19页 |
2.3 分析仪器及其原理 | 第19-21页 |
2.3.1 紫外-可见分光光度计 | 第19页 |
2.3.2 红外分光光度计 | 第19-20页 |
2.3.3 表面粗糙度仪 | 第20页 |
2.3.4 光学显微镜 | 第20页 |
2.3.5 激光共聚焦 | 第20-21页 |
2.4 实验方法及过程 | 第21-25页 |
2.4.1 实验方法 | 第21-23页 |
2.4.2 实验选用基片 | 第23-25页 |
3 无机复合薄膜光栅材料的研究 | 第25-39页 |
3.1 绪论 | 第25页 |
3.2 镧镍氧化物光栅材料的研究 | 第25-31页 |
3.2.1 实验过程 | 第25-27页 |
3.2.2 光学性能分析 | 第27-29页 |
3.2.3 圆光栅材料的制备及检测 | 第29-31页 |
3.3 钇钡铜氧化物光栅材料的研究 | 第31-37页 |
3.3.1 实验过程 | 第31-32页 |
3.3.2 光学性能分析 | 第32-34页 |
3.3.3 圆光栅材料的制备及检测 | 第34-37页 |
3.4 小结 | 第37-39页 |
4 选择性着色光栅材料的研究 | 第39-55页 |
4.1 绪论 | 第39页 |
4.2 有机染料掺杂原理 | 第39-41页 |
4.3 材料的选择与制备 | 第41-43页 |
4.3.1 透明薄膜溶胶的制备 | 第41-42页 |
4.3.2 有机染料掺杂溶胶的配制 | 第42-43页 |
4.4 有机-无机复合薄膜的检测与结果分析 | 第43-48页 |
4.4.1 ZrO_2凝胶膜感光性能的测试 | 第43-44页 |
4.4.2 SiO_2/Dye凝胶薄膜光学性能测试 | 第44-48页 |
4.5 微细图形化选择性着色的制备及检测分析 | 第48-54页 |
4.5.1 微细图形化选择性着色的制备工艺 | 第48-51页 |
4.5.2 ZrO_2/BzAcH凝胶膜图形化的制备及检测 | 第51-53页 |
4.5.3 计量圆光栅微细图形的制备 | 第53-54页 |
4.6 小结 | 第54-55页 |
5 结论 | 第55-57页 |
致谢 | 第57-59页 |
参考文献 | 第59-63页 |
攻读硕士学位期间撰写和发表的论文 | 第63页 |