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ZnO微纳米材料CVD法制备及掺杂究

摘要第3-4页
Abstract第4页
第1章 绪论第8-21页
    1.1 引言第8页
    1.2 氧化锌基本性质第8-9页
    1.3 ZnO 纳米材料制备方法第9-11页
        1.3.1 脉冲激光沉积(PLD)第9页
        1.3.2 化学气相沉积(CVD)第9-10页
        1.3.3 金属有机化学气相沉积(MOCVD)第10页
        1.3.4 磁控溅射(Magnetron Sputtering)第10页
        1.3.5 水热法第10-11页
        1.3.6 分子束外延(MBE)第11页
    1.4 ZnO 微纳米材料研究现状第11-19页
        1.4.1 本征 ZnO 研究现状第11-17页
        1.4.2 掺杂 ZnO 的研究现状第17-19页
        1.4.3 掺杂 ZnO 存在的问题第19页
    1.5 选题意义第19-20页
    1.6 主要研究内容第20-21页
第2章 ZnO 的制备、表征方法第21-28页
    2.1 实验设备与材料第21-22页
        2.1.1 实验设备第21-22页
        2.1.2 实验材料第22页
    2.2 ZnO 的制备第22-24页
        2.2.1 CVD 原理及特点第22-23页
        2.2.2 工艺流程第23-24页
    2.3 表征方法第24-28页
        2.3.1 X 射线衍射(XRD)第24-25页
        2.3.2 场发射扫描电镜(SEM)及能谱(EDS)第25页
        2.3.3 光致发光光谱(PL)第25-26页
        2.3.4 UV 可见分光光度计第26页
        2.3.5 X 射线光电子能谱(XPS)第26-28页
第3章 未掺杂 ZnO 纳米结构的制备及表征第28-41页
    3.1 引言第28页
    3.2 制备工艺第28页
        3.2.1 基片的清洗第28页
        3.2.2 实验过程第28页
    3.3 不同衬底对 ZnO 结构和性能的影响第28-37页
        3.3.1 ITO 衬底上 ZnO 纳米线的制备及表征第28-30页
        3.3.2 ZnO 纳米线的光学性能表征第30-32页
        3.3.3 石英衬底上 ZnO 微纳米材料的制备及表征第32-37页
    3.4 不同催化剂下 ZnO 的制备及表征第37-40页
        3.4.1 Ni 催化下 ZnO 的制备及表征第37-38页
        3.4.2 Ag 催化下 ZnO 的制备及表征第38-39页
        3.4.3 Ag 与 Ni 催化下 ZnO 的生长机理第39-40页
    3.5 本章小结第40-41页
第4章 Cu 掺杂下 ZnO 纳米带的制备及表征第41-50页
    4.1 引言第41页
    4.2 Cu 掺杂 ZnO 纳米带的制备及表征第41-45页
        4.2.1 Cu 掺杂 ZnO 纳米带的制备及结构表征第41-43页
        4.2.2 Cu 掺杂 ZnO 纳米带形成机理第43-45页
    4.3 Cu 掺杂 ZnO 纳米带的光致发光性能第45-49页
    4.4 本章小结第49-50页
第5章 Mn 掺杂 ZnO 的研究第50-59页
    5.1 引言第50页
    5.2 Mn 掺杂 ZnO 的制备第50页
        5.2.1 制备过程第50页
    5.3 Mn 掺杂 ZnO 的结构表征及成分、生长机理分析第50-57页
        5.3.1 ZnO: Mn 的结构表征第50-52页
        5.3.2 Mn 掺杂 ZnO 生长机理分析第52-54页
        5.3.3 Mn 掺杂 ZnO 的成分分析第54-57页
    5.4 Mn 掺杂 ZnO 的光致发光性能研究第57-58页
    5.5 本章小结第58-59页
结论第59-60页
参考文献第60-67页
致谢第67页

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