可实现激光扫描的液晶闪耀光栅的设计与研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| ·光束扫描技术的发展 | 第10-19页 |
| ·机械扫描 | 第11-12页 |
| ·声光扫描 | 第12-13页 |
| ·电光扫描 | 第13-14页 |
| ·电光数字式扫描 | 第14-15页 |
| ·光学相控阵 | 第15-19页 |
| ·液晶光栅的发展 | 第19-22页 |
| ·传统的液晶光栅 | 第19-20页 |
| ·液晶/聚合物光栅 | 第20页 |
| ·液晶光栅的制作方法 | 第20-22页 |
| ·本文主要工作 | 第22-23页 |
| ·本文内容安排 | 第23-24页 |
| 第二章 液晶闪耀光栅的工作原理及理论分析 | 第24-37页 |
| ·平面透射光栅 | 第24-26页 |
| ·闪耀光栅 | 第26-27页 |
| ·二元光学闪耀光栅 | 第27-28页 |
| ·液晶闪耀光栅 | 第28-37页 |
| ·液晶的连续弹性体理论 | 第29-30页 |
| ·液晶双折射现象及电控双折射效应 | 第30-32页 |
| ·液晶闪耀光栅的实现思想 | 第32-33页 |
| ·液晶闪耀光栅的特性分析 | 第33-37页 |
| 第三章 液晶闪耀光栅的设计 | 第37-49页 |
| ·液晶闪耀光栅结构设计 | 第37-43页 |
| ·光栅电极阵列设计 | 第38-39页 |
| ·光栅驱动电极设计 | 第39-41页 |
| ·光栅驱动辅助电极设计 | 第41-42页 |
| ·液晶材料选择及液晶盒设计 | 第42-43页 |
| ·液晶闪耀光栅实施方案 | 第43-49页 |
| ·光栅电极阵列实施方案 | 第44页 |
| ·光栅驱动电极实施方案 | 第44-46页 |
| ·光栅驱动辅助电极实施方案 | 第46-47页 |
| ·液晶材料确定及液晶盒实施方案 | 第47-49页 |
| 第四章 液晶闪耀光栅的制作工艺 | 第49-73页 |
| ·液晶闪耀光栅电极图案光刻掩模的制作 | 第50-53页 |
| ·液晶闪耀光栅下基板制备 | 第53-67页 |
| ·ITO 玻璃基片制备 | 第53-54页 |
| ·金属银层制备 | 第54-57页 |
| ·液晶闪耀光栅电极光刻流程 | 第57-58页 |
| ·液晶闪耀光栅电极光刻胶图案制备 | 第58-60页 |
| ·液晶闪耀光栅电极图案刻蚀 | 第60-64页 |
| ·液晶闪耀光栅电极图案去胶 | 第64-65页 |
| ·液晶闪耀光栅阵列电极银层刻蚀 | 第65页 |
| ·液晶闪耀光栅阵列电极区域取向 | 第65-67页 |
| ·液晶闪耀光栅上基板的制备 | 第67-68页 |
| ·引出金属电极层的制备 | 第67-68页 |
| ·液晶闪耀光栅上基板ITO 面取向 | 第68页 |
| ·液晶闪耀光栅液晶盒制备 | 第68-70页 |
| ·液晶闪耀光栅液晶盒封盒 | 第68-69页 |
| ·液晶闪耀光栅液晶盒灌晶 | 第69-70页 |
| ·液晶盒上下基板公共电极导通 | 第70页 |
| ·液晶闪耀光栅驱动芯片、软带线的绑定 | 第70-72页 |
| ·驱动芯片的绑定 | 第70-71页 |
| ·软带线的绑定 | 第71-72页 |
| ·液晶闪耀光栅制作总结 | 第72-73页 |
| 第五章 液晶闪耀光栅的测试 | 第73-86页 |
| ·基于液晶闪耀光栅的扫描器组件 | 第73-74页 |
| ·液晶闪耀光栅驱动性能测试 | 第74-78页 |
| ·测试目的 | 第74页 |
| ·测试设备及方案 | 第74页 |
| ·测试原理 | 第74-76页 |
| ·测试结果及分析 | 第76-77页 |
| ·测试结论 | 第77-78页 |
| ·液晶闪耀光栅偏转特性测试 | 第78-82页 |
| ·测试目的 | 第78页 |
| ·测试设备及方案 | 第78-79页 |
| ·测试结果及分析 | 第79-82页 |
| ·测试结论 | 第82页 |
| ·液晶闪耀光栅波前相位反演测试 | 第82-86页 |
| ·剪切干涉装置及相位反演系统简介 | 第82-83页 |
| ·测试液晶盒制作误差对激光波前的影响 | 第83-84页 |
| ·测试液晶盒加不同电压时对激光波前的影响 | 第84-86页 |
| 第六章 液晶闪耀光栅的优化设计 | 第86-100页 |
| ·液晶闪耀光栅扫描效果分析 | 第86页 |
| ·SDD1289 驱动方案分析 | 第86-90页 |
| ·SDD1289 驱动方案简介 | 第86-88页 |
| ·SDD1289 驱动方案不足 | 第88-90页 |
| ·改进的液晶闪耀光栅驱动方式 | 第90-93页 |
| ·改进后的液晶闪耀光栅方案设计 | 第93-100页 |
| ·改进后的液晶闪耀光栅电极结构方案 | 第93页 |
| ·改进后的液晶闪耀光栅驱动方案设计 | 第93-100页 |
| 第七章 结束语 | 第100-102页 |
| ·工作总结 | 第100页 |
| ·工作展望 | 第100-102页 |
| 致谢 | 第102-103页 |
| 参考文献 | 第103-107页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第107-108页 |
