MEMS微加速度计读出电路设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 引言 | 第10-14页 |
| ·研究背景及意义 | 第10-11页 |
| ·国内外发展动态 | 第11-12页 |
| ·论文的主要工作 | 第12-14页 |
| 第二章 MEMS 微加速度计 | 第14-20页 |
| ·MEMS 微加速度计概述 | 第14-15页 |
| ·MEMS 电容式微加速度计动力学模型 | 第15-16页 |
| ·MEMS 电容式微加速度计电容模型 | 第16-20页 |
| 第三章 读出电路结构的研究和设计以及电路噪声分析 | 第20-34页 |
| ·MEMS 微加速度计微弱电容信号读出电路结构 | 第20-28页 |
| ·单端检测读出电路结构 | 第20-25页 |
| ·全差动式检测读出电路结构 | 第25页 |
| ·拟差动式检测读出电路结构 | 第25-27页 |
| ·差动式检测读出电路结构 | 第27-28页 |
| ·读出电路方案 | 第28-31页 |
| ·各种读出电路结构的性能优劣 | 第28-29页 |
| ·本文设计的读出电路结构 | 第29-31页 |
| ·噪声分析 | 第31-34页 |
| ·热噪声 | 第31-32页 |
| ·闪烁噪声（1/f 噪声） | 第32-33页 |
| ·开关噪声 | 第33-34页 |
| 第四章 低噪声前置放大器的设计与仿真 | 第34-62页 |
| ·前置放大器输入级选择 | 第36-37页 |
| ·前置放大器电路设计 | 第37-39页 |
| ·前置放大器噪声计算与仿真 | 第39-45页 |
| ·噪声计算 | 第39-44页 |
| ·噪声模拟仿真与分析 | 第44-45页 |
| ·前置放大器的开环分析与仿真 | 第45-56页 |
| ·增益和相位 | 第45-48页 |
| ·频率补偿 | 第48-51页 |
| ·输入失调电压 | 第51-52页 |
| ·共模抑制比 | 第52-54页 |
| ·电源抑制比 | 第54-56页 |
| ·前置放大器的闭环分析与仿真 | 第56-61页 |
| ·闭环频率响应 | 第56-57页 |
| ·输入参考噪声 | 第57-61页 |
| ·前置放大器性能指标 | 第61-62页 |
| 第五章 读出电路其他模块设计与仿真 | 第62-75页 |
| ·采样解调电路 | 第62-68页 |
| ·电路结构 | 第62页 |
| ·开关尺寸 | 第62-63页 |
| ·时钟馈通 | 第63-64页 |
| ·沟道电荷注入效应 | 第64-66页 |
| ·消除开关非理想特性的方法 | 第66-68页 |
| ·时钟电路 | 第68-70页 |
| ·低通滤波电路 | 第70-72页 |
| ·缓冲电路 | 第72-75页 |
| 第六章 整体电路仿真与版图设计 | 第75-86页 |
| ·调制与解调 | 第75-77页 |
| ·调制 | 第75-76页 |
| ·采样解调 | 第76-77页 |
| ·读出电路的半电路结构分析与仿真 | 第77-78页 |
| ·差动放大器AMP3 的设计分析 | 第78-80页 |
| ·整体电路分析与仿真 | 第80-82页 |
| ·考虑初始电容C0 不匹配 | 第80-81页 |
| ·整体电路模拟仿真 | 第81-82页 |
| ·版图设计 | 第82-86页 |
| ·重要模块设计 | 第83-84页 |
| ·整体电路版图设计 | 第84-86页 |
| 第七章 结论 | 第86-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-91页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第91-92页 |
