| 摘要 | 第3-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第14-39页 |
| 1.1 射频微电感的研究进展 | 第14-23页 |
| 1.1.1 栅型微电感 | 第15页 |
| 1.1.2 螺旋型微电感 | 第15-18页 |
| 1.1.2.1 平面螺旋微电感 | 第15-16页 |
| 1.1.2.2 垂直螺旋微电感 | 第16页 |
| 1.1.2.3 悬浮螺旋微电感 | 第16-18页 |
| 1.1.2.4 多层螺旋微电感 | 第18页 |
| 1.1.3 螺线管型微电感 | 第18-23页 |
| 1.2 射频微电容的研究进展 | 第23-30页 |
| 1.2.1 单电容 | 第24-26页 |
| 1.2.2 双电容 | 第26-27页 |
| 1.2.3 叉指（梳状）电容 | 第27-29页 |
| 1.2.4 新颖结构电容 | 第29-30页 |
| 1.3 本文研究的意义和主要内容 | 第30-32页 |
| 1.3.1 本文研究的意义 | 第30-31页 |
| 1.3.2 本文研究的主要内容 | 第31-32页 |
| 参考文献 | 第32-39页 |
| 第二章 螺线管微电感的物理模型和参数优化设计 | 第39-55页 |
| 2.1 微电感的系能参数 | 第39-40页 |
| 2.1.1 电感量 | 第39页 |
| 2.1.2 品质因数 | 第39-40页 |
| 2.2 螺线管微电感的物理模型 | 第40-47页 |
| 2.2.1 物理结构和几何结构 | 第40-41页 |
| 2.2.2 物理模型 | 第41-47页 |
| 2.2.2.1 电感量L_S计算 | 第41-45页 |
| 2.2.2.2 串联电阻R_S计算 | 第45页 |
| 2.2.2.3 寄生电容C_S计算 | 第45-46页 |
| 2.2.2.4 品质因数Q 计算 | 第46-47页 |
| 2.3 参数优化设计 | 第47-53页 |
| 2.3.1 线圈匝数对微电感性能的影响 | 第47-48页 |
| 2.3.2 线圈导线厚度对微电感性能的影响 | 第48页 |
| 2.3.3 线圈导线长度对微电感性能的影响 | 第48-49页 |
| 2.3.4 线圈导线宽度对微电感性能的影响 | 第49-50页 |
| 2.3.5 线圈导线间距离对微电感性能的影响 | 第50页 |
| 2.3.6 柱子高度和频率对微电感性能的影响 | 第50-51页 |
| 2.3.7 计算结论 | 第51-53页 |
| 2.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-55页 |
| 第三章 静电驱动微机械可变电容的设计和优化 | 第55-64页 |
| 3.1 吸合效应 | 第55-57页 |
| 3.2 可变电容的设计和优化 | 第57-63页 |
| 3.2.1 金属材料的选取 | 第57页 |
| 3.2.2 牺牲层 | 第57页 |
| 3.2.3 弹性梁 | 第57-60页 |
| 3.2.4 重力对可动极板的作用 | 第60页 |
| 3.2.5 测量 | 第60-61页 |
| 3.2.6 微电容设计的结果 | 第61-63页 |
| 3.3 本章小结 | 第63-64页 |
| 第四章 实验制作工艺 | 第64-75页 |
| 4.1 基本工艺 | 第64-69页 |
| 4.1.1 溅射 | 第64页 |
| 4.1.2 甩胶 | 第64-65页 |
| 4.1.3 烘胶 | 第65-66页 |
| 4.1.4 曝光 | 第66页 |
| 4.1.5 显影 | 第66页 |
| 4.1.6 电镀 | 第66-67页 |
| 4.1.7 抛光 | 第67页 |
| 4.1.8 去胶 | 第67-68页 |
| 4.1.9 刻蚀 | 第68-69页 |
| 4.2 套刻符号的制作 | 第69页 |
| 4.3 空芯螺线管微电感的制作工艺 | 第69-73页 |
| 4.4 可变电容的制作工艺 | 第73-74页 |
| 4.5 本章小结 | 第74-75页 |
| 第五章 微电感测量结果和分析 | 第75-86页 |
| 5.1 微电感等效二端口微波网络 | 第75-76页 |
| 5.2 测量仪器 | 第76-77页 |
| 5.3 测量结果 | 第77-84页 |
| 5.3.1 玻璃衬底不同几何尺寸的微电感性能与频率的关系 | 第77-79页 |
| 5.3.2 理论计算和实验结果的对比 | 第79-80页 |
| 5.3.3 微电感性能与衬底结构的关系 | 第80-81页 |
| 5.3.4 微电感性能仿真和实验结果的对比 | 第81-84页 |
| 5.4 本章小结 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-86页 |
| 第六章 微电容测量结果和分析 | 第86-108页 |
| 6.1 可变电容测量结果 | 第86-90页 |
| 6.2 可动极板形变分析 | 第90-99页 |
| 6.3 可变电容的动力学分析 | 第99-103页 |
| 6.4 本章小结 | 第103-104页 |
| 参考文献 | 第104-108页 |
| 第七章 总结与展望 | 第108-110页 |
| 致谢 | 第110-111页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第111-114页 |