| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 符号表 | 第13-16页 |
| 第1章 绪论 | 第16-27页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第16-18页 |
| 1.2 微结构表面辐射特性研究现状 | 第18-22页 |
| 1.2.1 微结构表面辐射机理研究现状 | 第18-20页 |
| 1.2.2 周期性微结构表面辐射特性研究现状 | 第20-21页 |
| 1.2.3 微尺度光谱特性调控技术研究现状 | 第21-22页 |
| 1.3 微结构表面辐射特性数值模拟方法 | 第22-25页 |
| 1.3.1 模拟方法概述 | 第22-25页 |
| 1.3.2 本文模拟方法选取 | 第25页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第25-27页 |
| 第2章 微结构辐射特性的数值模拟方法 | 第27-42页 |
| 2.1 引言 | 第27页 |
| 2.2 MAXWELL 方程组及其求解 | 第27-29页 |
| 2.2.1 Maxwell 方程组 | 第27-28页 |
| 2.2.2 介质方程 | 第28页 |
| 2.2.3 边界条件 | 第28-29页 |
| 2.3 严格耦合波分析(RCWA)法 | 第29-35页 |
| 2.3.1 基本原理 | 第29页 |
| 2.3.2 几何结构 | 第29-30页 |
| 2.3.3 电磁场级数展开 | 第30-33页 |
| 2.3.4 边界条件设置 | 第33-34页 |
| 2.3.5 离散方程的求解方法 | 第34-35页 |
| 2.3.6 算法验证 | 第35页 |
| 2.4 LC 电路模型介绍 | 第35-40页 |
| 2.4.1 基本等效原理 | 第35-36页 |
| 2.4.2 计算方法 | 第36-39页 |
| 2.4.3 算法验证 | 第39-40页 |
| 2.4.4 模型应用 | 第40页 |
| 2.5 本章小结 | 第40-42页 |
| 第3章 简单光栅结构光谱辐射特性 | 第42-62页 |
| 3.1 引言 | 第42页 |
| 3.2 光谱吸收率随入射光线的变化特性 | 第42-48页 |
| 3.2.1 电磁波传播模式对光谱辐射特性的影响 | 第42-44页 |
| 3.2.2 电磁波入射角度对光谱辐射特性的影响 | 第44-48页 |
| 3.3 光谱吸收率随光栅结构尺寸变化规律研究 | 第48-52页 |
| 3.3.1 光谱吸收率随光栅周期的变化规律研究 | 第48-50页 |
| 3.3.2 光谱吸收率随光栅凸脊占空比的变化规律研究 | 第50-51页 |
| 3.3.3 光谱吸收率随光栅高度的变化规律研究 | 第51-52页 |
| 3.4 光谱吸收率随材料的变化规律研究 | 第52-56页 |
| 3.5 光栅光谱辐射特性的实验测量 | 第56-60页 |
| 3.5.1 光栅几何结构 | 第56-57页 |
| 3.5.2 实验台介绍 | 第57-58页 |
| 3.5.3 实验测量结果 | 第58-60页 |
| 3.6 本章小结 | 第60-62页 |
| 第4章 微结构表面等效吸收带宽拓宽机制 | 第62-85页 |
| 4.1 引言 | 第62页 |
| 4.2 一维简单光栅的等效带宽 | 第62-67页 |
| 4.2.1 光栅几何结构模型 | 第63页 |
| 4.2.2 计算结果与讨论 | 第63-67页 |
| 4.3 二重凹槽光栅结构对高吸收率峰等效带宽的拓宽作用 | 第67-73页 |
| 4.3.1 光栅几何结构模型 | 第67-68页 |
| 4.3.2 计算结果与讨论 | 第68-73页 |
| 4.4 复杂二重凹槽光栅结构对高吸收率峰等效带宽的拓宽作用 | 第73-77页 |
| 4.4.1 光栅几何结构模型 | 第73-74页 |
| 4.4.2 计算结果与讨论 | 第74-77页 |
| 4.5 等效带宽增益计算 | 第77-78页 |
| 4.6 加工误差对辐射特性的影响 | 第78-83页 |
| 4.6.1 加工残留对一重及二重光栅辐射特性的影响 | 第78-81页 |
| 4.6.2 上下凹槽中心线移位对辐射特性的影响 | 第81-83页 |
| 4.7 本章小结 | 第83-85页 |
| 第5章 微结构表面光谱辐射特性主动调控方法 | 第85-124页 |
| 5.1 引言 | 第85页 |
| 5.2 移动盖板结构表面辐射特性主动调控研究 | 第85-94页 |
| 5.2.1 光栅几何结构模型 | 第86-87页 |
| 5.2.2 计算结果及讨论 | 第87-92页 |
| 5.2.3 滑动盖板结构加工缝隙对辐射特性的影响 | 第92-94页 |
| 5.3 填充液微结构表面辐射特性主动调控研究 | 第94-107页 |
| 5.3.1 光栅几何结构模型 | 第94-96页 |
| 5.3.2 计算结果及讨论 | 第96-107页 |
| 5.4 梳齿微驱动器结构表面辐射特性主动调控研究 | 第107-123页 |
| 5.4.1 光栅几何结构模型 | 第108-109页 |
| 5.4.2 计算结果及讨论 | 第109-123页 |
| 5.5 本章小结 | 第123-124页 |
| 结论 | 第124-126页 |
| 参考文献 | 第126-140页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第140-142页 |
| 致谢 | 第142-144页 |
| 个人简历 | 第144页 |
