电磁驱动微流体芯片阀门设计
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题来源、背景及研究意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-18页 |
| 1.2.1 微流控平台 | 第10-11页 |
| 1.2.2 微流控平台研究进展 | 第11-14页 |
| 1.2.3 微型阀门驱动 | 第14-15页 |
| 1.2.4 微阀研究进展 | 第15-16页 |
| 1.2.5 微阀的特点和应用 | 第16-18页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第2章 水辅助飞秒激光加工技术 | 第19-24页 |
| 2.1 飞秒激光脉冲在水中的传输与相互作用 | 第19-21页 |
| 2.2 水辅助飞秒激光刻蚀材料加工 | 第21-23页 |
| 2.3 本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 水辅助飞秒激光制备三维螺旋通道结构 | 第24-36页 |
| 3.1 水辅助飞秒激光加工系统 | 第24-25页 |
| 3.2 飞秒激光加工参数优选 | 第25-27页 |
| 3.3 水辅助激光加工竖直通道 | 第27-29页 |
| 3.4 水辅助激光加工三维螺旋通道 | 第29-31页 |
| 3.5 水辅助飞秒激光加工螺旋通道阵列 | 第31-35页 |
| 3.5.1 单螺旋通道阵列 | 第31-32页 |
| 3.5.2 双螺旋通道阵列 | 第32-33页 |
| 3.5.3 三螺旋通道直线阵列 | 第33页 |
| 3.5.4 三螺旋通道三角形阵列 | 第33-34页 |
| 3.5.5 四螺旋通道方形阵列 | 第34-35页 |
| 3.5.6 嵌套螺旋通道阵列 | 第35页 |
| 3.6 本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 微驱动器制备、模拟与测试 | 第36-60页 |
| 4.1 有限元方法软件模拟基础 | 第36页 |
| 4.2 ANSYS 有限元建模理论基础 | 第36-38页 |
| 4.2.1 电磁场理论 | 第36-37页 |
| 4.2.2 平面静力学理论 | 第37页 |
| 4.2.3 ANSYS 静态磁场分析 | 第37-38页 |
| 4.2.4 ANSYS 结构静力学分析 | 第38页 |
| 4.3 玻璃基底微型螺旋电磁驱动的制备 | 第38-42页 |
| 4.3.1 导电材料的选取 | 第39页 |
| 4.3.2 导电材料粉灌入螺旋通道 | 第39-41页 |
| 4.3.3 微型电磁驱动器的简单封装 | 第41-42页 |
| 4.4 微型螺旋电磁驱动器的模拟测试 | 第42-59页 |
| 4.4.1 微型驱动器电学性能测试 | 第42-46页 |
| 4.4.2 单螺旋通道阵列结构微型驱动模拟分析 | 第46-51页 |
| 4.4.3 薄片弯曲特性平面应力应变模拟分析 | 第51-53页 |
| 4.4.4 嵌套螺旋阵列结构微驱动模拟分析 | 第53-56页 |
| 4.4.5 微型电磁驱动器驱动永磁体模拟分析 | 第56-59页 |
| 4.4.6 微型螺旋电磁驱动器驱动性能的简单测试 | 第59页 |
| 4.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 结论与展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
