| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 论文研究背景 | 第9-12页 |
| 1.2.1 实验研究 | 第9-10页 |
| 1.2.2 理论研究 | 第10-12页 |
| 1.3 论文研究内容和工作 | 第12-15页 |
| 第二章 基于两体形变势的硅纳米梁基波频率的理论模型 | 第15-37页 |
| 2.1 连续体理论与半连续体理论 | 第15-19页 |
| 2.1.1 连续体理论 | 第15-16页 |
| 2.1.2 半连续体理论 | 第16-19页 |
| 2.2 基于两体势模型的硅纳米梁的应变势能计算 | 第19-28页 |
| 2.2.1 两体形变势模型 | 第19-20页 |
| 2.2.2 硅纳米梁的理想硅晶格应变势能 | 第20-24页 |
| 2.2.3 表面弛豫对实际硅纳米梁的影响 | 第24-26页 |
| 2.2.4 硅纳米梁的应变势能密度 | 第26-28页 |
| 2.3 基于两体势能模型的硅纳米梁的基波频率计算 | 第28-35页 |
| 2.3.1 (100)纳米梁基波频率的半连续体模型 | 第28-31页 |
| 2.3.2 模型分析 | 第31-35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-37页 |
| 第三章 基于Keating形变势的硅纳米梁基波频率的理论模型 | 第37-55页 |
| 3.1 Keating的两种形变势模型 | 第37-38页 |
| 3.1.1 Keating形变势模型 | 第37-38页 |
| 3.1.2 非谐Keating形变势模型 | 第38页 |
| 3.2 基于Keating形变势模型的硅纳米梁的应变势能计算 | 第38-47页 |
| 3.2.1 表面弛豫对力学常数的影响 | 第38-39页 |
| 3.2.2 硅纳米梁的晶格应变势能 | 第39-44页 |
| 3.2.3 硅纳米梁的应变势能密度 | 第44-47页 |
| 3.3 基于Keating形变势模型的硅纳米梁的基波频率计算 | 第47-53页 |
| 3.3.1 基波频率的计算 | 第47-50页 |
| 3.3.2 模型分析 | 第50-53页 |
| 3.4 本章小结 | 第53-55页 |
| 第四章 表面重构对硅纳米梁基波频率的影响 | 第55-65页 |
| 4.1 硅纳米梁表面重构效应 | 第55-56页 |
| 4.2 表面重构对硅纳米梁振荡特性的影响 | 第56-64页 |
| 4.2.1 (2×1)重构硅纳米梁的应变势能 | 第56-62页 |
| 4.2.2 (2×1)表面重构硅纳米梁的基波频率 | 第62-63页 |
| 4.2.3 (2×1)表面重构对硅纳米梁基波频率的影响 | 第63-64页 |
| 4.3 本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 总结与展望 | 第65-67页 |
| 5.1 总结 | 第65页 |
| 5.2 展望 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 作者简介 | 第73页 |
