| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 研究背景 | 第11-12页 |
| 1.2 金刚石的结构、性能及应用 | 第12-15页 |
| 1.2.1 金刚石的结构 | 第12-13页 |
| 1.2.2 金刚石的力学性能与应用 | 第13页 |
| 1.2.3 金刚石的电学性能与应用 | 第13-14页 |
| 1.2.4 金刚石的热学性能与应用 | 第14-15页 |
| 1.2.5 金刚石的光学性能与应用 | 第15页 |
| 1.3 铜的基本性质 | 第15-16页 |
| 1.4 界面热阻研究现状 | 第16-17页 |
| 1.5 人工合成金刚石的研究现状 | 第17-18页 |
| 1.6 铜-金刚石热沉材料的研究进展 | 第18-20页 |
| 1.6.1 高温烧结Cu-Diamond复合材料研究进展 | 第18-19页 |
| 1.6.2 铜基体表面化学气相沉积金刚石涂层的研究进展 | 第19-20页 |
| 1.7 选题依据 | 第20-21页 |
| 1.8 研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 实验材料设备及表征 | 第23-33页 |
| 2.1 实验流程 | 第23-24页 |
| 2.2 实验材料及预处理 | 第24-25页 |
| 2.3 实验设备及原理 | 第25-29页 |
| 2.3.1 电镀原理及设备 | 第25-27页 |
| 2.3.2 粉末压片机 | 第27页 |
| 2.3.3 双温区开启式管式炉 | 第27页 |
| 2.3.4 热丝化学气相沉积工艺 | 第27-29页 |
| 2.4 表征方法 | 第29-33页 |
| 2.4.1 扫描电子显微镜 | 第29页 |
| 2.4.2 X射线衍射仪 | 第29-30页 |
| 2.4.3 激光共聚焦拉曼光谱仪 | 第30页 |
| 2.4.4 BMT Expert 3D表面形貌仪 | 第30-31页 |
| 2.4.5 赛多利斯Sartorius密度天平 | 第31页 |
| 2.4.6 复合材料热导率的测量 | 第31-33页 |
| 第三章 嵌入式组合热沉制备工艺研究 | 第33-48页 |
| 3.1 引言 | 第33-34页 |
| 3.2 不同粒度金刚石上砂镀工艺的研究 | 第34-38页 |
| 3.2.1 不同静置时间对上砂镀金刚石密度的影响 | 第35-37页 |
| 3.2.2 不同粒度金刚石上砂表面形貌分析 | 第37-38页 |
| 3.3 模压工艺的研究 | 第38-47页 |
| 3.3.1 不同压力下金刚石压入情况分析 | 第39页 |
| 3.3.2 裂纹产生原因分析及去除方法 | 第39-47页 |
| 3.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 Cu/Diamond界面V型沟槽的平整工艺研究 | 第48-69页 |
| 4.1 引言 | 第48页 |
| 4.2 V型沟槽的形成机制 | 第48-49页 |
| 4.3 CVD生长露头金刚石平整V型沟槽的工艺与研究 | 第49-54页 |
| 4.3.1 不同沉积时间样品表面形貌分析 | 第49-52页 |
| 4.3.2 不同粒度金刚石CVD后表面形貌分析 | 第52-54页 |
| 4.4 铜粉填充V型沟槽的工艺研究 | 第54-59页 |
| 4.4.1 填充铜粉前后样品表面形貌分析 | 第54-55页 |
| 4.4.2 高温烧结后样品表面形貌及元素分析 | 第55-59页 |
| 4.5 嵌入式组合热沉Cu/Diamond的界面结构研究 | 第59-68页 |
| 4.5.1 露头金刚石CVD生长后界面形貌及能谱分析 | 第59-61页 |
| 4.5.2 铜粉填充V型沟槽烧结后界面结构的研究 | 第61-68页 |
| 4.6 本章小结 | 第68-69页 |
| 第五章 嵌入式组合热沉的结构与性能表征 | 第69-78页 |
| 5.1 引言 | 第69页 |
| 5.2 嵌入式组合热沉的表面粗糙度 | 第69-70页 |
| 5.3 物相分析 | 第70-73页 |
| 5.4 拉曼光谱分析 | 第73-74页 |
| 5.5 热导率的测量与分析 | 第74-76页 |
| 5.6 热膨胀系数的理论计算 | 第76-77页 |
| 5.7 本章小结 | 第77-78页 |
| 全文总结 | 第78-80页 |
| 本文工作的创新点 | 第79页 |
| 工作展望 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-86页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第86-87页 |
| 致谢 | 第87-88页 |
| 附件 | 第88页 |
