步进式压电驱动直线运动系统的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.1.1 课题的来源 | 第9页 |
| 1.1.2 课题研究的背景和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 压电驱动器的国内外研究现状及分析 | 第10-16页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第14-16页 |
| 1.2.3 国内外文献综述的简析 | 第16页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 双足步进式压电驱动器致动原理和结构分析 | 第18-37页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 步进式压电驱动直线运动系统的组成 | 第18-19页 |
| 2.3 双足步进式压电驱动器致动原理 | 第19-23页 |
| 2.3.1 压电元件特性 | 第19-20页 |
| 2.3.2 双足步进式压电驱动器基本结构 | 第20-23页 |
| 2.4 双足步进式压电驱动器的结构方案 | 第23-36页 |
| 2.4.1 双足步进式压电驱动器基本结构 | 第23-25页 |
| 2.4.2 箝位力分析等效模型的建立 | 第25-28页 |
| 2.4.3 有限元分析 | 第28-32页 |
| 2.4.4 结构方案选择 | 第32-36页 |
| 2.5 本章小结 | 第36-37页 |
| 第3章 驱动电源与运动控制系统的设计 | 第37-50页 |
| 3.1 引言 | 第37页 |
| 3.2 驱动电源设计要求及技术指标 | 第37页 |
| 3.3 驱动电源设计与仿真 | 第37-44页 |
| 3.3.1 正负直流电压供电电路 | 第38-39页 |
| 3.3.2 线性放大电路 | 第39-40页 |
| 3.3.3 驱动电源软件仿真 | 第40-44页 |
| 3.4 运动控制系统 | 第44-49页 |
| 3.4.1 运动控制系统设计 | 第44-48页 |
| 3.4.2 数据采集卡驱动程序编写 | 第48-49页 |
| 3.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 第4章 步进式压电驱动直线运动系统性能测试 | 第50-66页 |
| 4.1 引言 | 第50页 |
| 4.2 驱动电源测试 | 第50-53页 |
| 4.2.1 线性度 | 第50-52页 |
| 4.2.2 矩形波响应 | 第52-53页 |
| 4.3 驱动器机械输出特性测试 | 第53-58页 |
| 4.3.1 输出位移重复性测试 | 第54-56页 |
| 4.3.2 输出位移矩形波信号响应测试 | 第56-57页 |
| 4.3.3 输出位移与电压的关系 | 第57-58页 |
| 4.4 直线运动系统测试 | 第58-64页 |
| 4.4.1 驱动器的驱动力及分析 | 第58-60页 |
| 4.4.2 平台运动位移曲线 | 第60-61页 |
| 4.4.3 平台平均速度与电压及频率的关系 | 第61-62页 |
| 4.4.4 直线运动系统定位控制实验 | 第62-64页 |
| 4.5 实验测试结果分析 | 第64-65页 |
| 4.6 本章小结 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74页 |
