GaAs基光电导开关灵敏度的研究
| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 光电导开关的简介 | 第9-15页 |
| 1.2.1 光电导开关的结构 | 第9-10页 |
| 1.2.2 光电导开关的工作原理 | 第10-12页 |
| 1.2.3 光电导开关的研究现状和研究意义 | 第12-15页 |
| 1.3 本文的主要工作 | 第15-19页 |
| 1.3.1 研究目标 | 第15-16页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第16页 |
| 1.3.3 论文的布局安排 | 第16-19页 |
| 第二章 光电导开关的制备和测试 | 第19-25页 |
| 2.1 光电导开关器件的制备 | 第19-23页 |
| 2.1.1 光电导开关基础芯片的制备 | 第19-21页 |
| 2.1.2 光电导开关功能层结构的制备 | 第21-23页 |
| 2.2 光电导开关的测试方法 | 第23-25页 |
| 2.1.1 光电导开关灵敏度的测试原理 | 第23页 |
| 2.1.2 光电导开关的测试电路 | 第23-25页 |
| 第三章 光电导开关减反膜结构对灵敏度的影响 | 第25-33页 |
| 3.1 单层减反膜结构对光电导开关灵敏度的影响 | 第25-30页 |
| 3.1.1 单层减反膜的原理 | 第25-26页 |
| 3.1.2 单层减反膜厚度的设计 | 第26-29页 |
| 3.1.3 单层减反膜厚度的设计的优化 | 第29-30页 |
| 3.2 双层减反膜结构对光电导开关灵敏度的影响 | 第30-32页 |
| 3.2.1 双层减反膜的原理与膜厚设计 | 第30-31页 |
| 3.2.2 双层减反膜的灵敏度测试与结论 | 第31-32页 |
| 3.3 本章小结 | 第32-33页 |
| 第四章 背反射层结构对光电导开关灵敏度影响的探究 | 第33-43页 |
| 4.1 背反射层结构的设计 | 第33-38页 |
| 4.1.1 金属背反射层的优选 | 第33-35页 |
| 4.1.2 背反射层结构的优化 | 第35-38页 |
| 4.2 双层背反射层结构的设计 | 第38-42页 |
| 4.2.1 双层背反射层结构的设计与制备 | 第39-40页 |
| 4.2.2 双层背反射层结构器件的灵敏度测试 | 第40-42页 |
| 4.3 本章小结 | 第42-43页 |
| 第五章 电极结构对光电导开关灵敏度的影响 | 第43-51页 |
| 5.1 电极间隙对光电导开关灵敏度的影响 | 第43-47页 |
| 5.1.1 实验设计 | 第44-45页 |
| 5.1.2 实验结果 | 第45-46页 |
| 5.1.3 分析与结论 | 第46-47页 |
| 5.2 电极形状对光电导开关灵敏度的影响 | 第47-50页 |
| 5.2.1 实验设计 | 第47-48页 |
| 5.2.2 实验结果 | 第48-49页 |
| 5.2.3 分析与结论 | 第49-50页 |
| 5.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 结论与展望 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-59页 |
| 个人简历及发表文章目录 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-63页 |
