| 中文摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·薄膜电感的发展历史及现状 | 第7页 |
| ·薄膜电感的不同类型 | 第7-11页 |
| ·平面型薄膜电感 | 第8-10页 |
| ·三维结构电感 | 第10-11页 |
| ·薄膜电感中软磁薄膜的要求 | 第11-15页 |
| ·铁氧体薄膜材料 | 第13-14页 |
| ·软磁金属合金薄膜材料 | 第14-15页 |
| 第二章 软磁薄膜[CoFeZr/SiO_2]_n的研究 | 第15-24页 |
| ·磁控溅射制备技术介绍 | 第15-17页 |
| ·溅射基本原理 | 第15-16页 |
| ·射频溅射 | 第16页 |
| ·磁控溅射 | 第16-17页 |
| ·[CoFeZr/SiO_2]_n、多层膜的制备 | 第17页 |
| ·软磁薄膜静态及高频磁性表征 | 第17-24页 |
| ·CoFeZr单层膜性能表征 | 第17-19页 |
| ·[Co_(13.3)Fe_(34.2)Zr_(22.5)/SiO_2]_n多层膜性能表征 | 第19-24页 |
| 第三章 平面电感的理论计算 | 第24-32页 |
| ·电感计算的理论基础 | 第24-25页 |
| ·各种横截面的电感线圈自感的计算 | 第25-26页 |
| ·电感线圈互感的计算 | 第26-27页 |
| ·螺旋型和栅极型薄膜电感分析模型 | 第27-28页 |
| ·夹层结构薄膜电感内部磁通分析 | 第28-29页 |
| ·平面电感的等效电路及测试原理 | 第29-32页 |
| 第四章 HFSS仿真平面薄膜电感 | 第32-46页 |
| ·电磁场中的基本方程 | 第32-34页 |
| ·HFSS电磁有限元理论简介 | 第34-37页 |
| ·HFSS有限元电磁仿真软件简介 | 第34页 |
| ·有限元法发展简介 | 第34-35页 |
| ·三维有限元问题 | 第35-37页 |
| ·空心螺旋电感的结构优化设计 | 第37-40页 |
| ·单层磁性薄膜结构的平面电感仿真 | 第40-46页 |
| 第五章 结论及展望 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-49页 |
| 学术成果 | 第49-50页 |
| 致谢 | 第50页 |