| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-24页 |
| 1.1 化学机械抛光概况 | 第9-11页 |
| 1.1.1 化学机械抛光材料去除机理 | 第10-11页 |
| 1.1.2 化学机械抛光研究现状 | 第11页 |
| 1.2 化学机械抛光的影响因素 | 第11-18页 |
| 1.2.1 抛光液酸碱度 | 第11页 |
| 1.2.2 抛光压力 | 第11-12页 |
| 1.2.3 抛光温度 | 第12页 |
| 1.2.4 抛光垫 | 第12-13页 |
| 1.2.5 抛光液组分 | 第13-17页 |
| 1.2.6 抛光液流量 | 第17页 |
| 1.2.7 抛光盘转速 | 第17页 |
| 1.2.8 抛光时间 | 第17-18页 |
| 1.3 抛光效果评价指标 | 第18-20页 |
| 1.3.1 材料去除速率 | 第18页 |
| 1.3.2 表面粗糙度 | 第18-20页 |
| 1.4 硬脆材料（A向蓝宝石和微晶玻璃）化学机械抛光研究现状 | 第20-23页 |
| 1.4.1 A向蓝宝石 | 第20-21页 |
| 1.4.2 微晶玻璃 | 第21-23页 |
| 1.5 本课题研究的内容 | 第23-24页 |
| 第二章A向蓝宝石化学机械抛光研究 | 第24-34页 |
| 2.1 前言 | 第24页 |
| 2.2 实验部分 | 第24-25页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第25-33页 |
| 2.3.1 Al_2O_3 Zeta电位分析 | 第25-26页 |
| 2.3.2 Al_2O_3粒径对A向蓝宝石化学机械抛光的影响 | 第26-27页 |
| 2.3.3 Al_2O_3浓度对A向蓝宝石化学机械抛光的影响 | 第27-28页 |
| 2.3.4 抛光时间对A向蓝宝石化学机械抛光的影响 | 第28-29页 |
| 2.3.5 抛光压力对A向蓝宝石化学机械抛光的影响 | 第29-31页 |
| 2.3.6 氟化铵浓度对A向蓝宝石化学机械抛光的影响 | 第31-33页 |
| 2.4 结论 | 第33-34页 |
| 第三章 掺氟氧化铝的制备及其对微晶玻璃化学机械抛光研究 | 第34-45页 |
| 3.1 前言 | 第34-35页 |
| 3.2 实验 | 第35-36页 |
| 3.2.1 材料与仪器 | 第35页 |
| 3.2.2 实验方法 | 第35-36页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第36-44页 |
| 3.4 结论 | 第44-45页 |
| 第四章 二氧化铈抛光液对微晶玻璃化学机械抛光的研究 | 第45-54页 |
| 4.1 前言 | 第45-46页 |
| 4.2 实验 | 第46页 |
| 4.2.1 抛光液的制备 | 第46页 |
| 4.2.2 化学机械抛光实验 | 第46页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第46-53页 |
| 4.3.1 二氧化铈浓度对微晶玻璃化学机械抛光的影响 | 第46-48页 |
| 4.3.2 pH值对微晶玻璃化学机械抛光的影响 | 第48-49页 |
| 4.3.3 抛光液流量对微晶玻璃化学机械抛光的影响 | 第49-50页 |
| 4.3.4 抛光盘转速对微晶玻璃化学机械抛光的影响 | 第50-51页 |
| 4.3.5 表面活性剂种类对微晶玻璃化学机械抛光的影响 | 第51-52页 |
| 4.3.6 氟化铵浓度对微晶玻璃化学机械抛光的影响 | 第52-53页 |
| 4.4 结论 | 第53-54页 |
| 第五章 添加剂对微晶玻璃化学机械抛光的影响 | 第54-61页 |
| 5.1 前言 | 第54页 |
| 5.2 实验 | 第54-55页 |
| 5.3 结果与讨论 | 第55-60页 |
| 5.3.1 不同络合剂对微晶玻璃化学机械抛光的影响 | 第55-56页 |
| 5.3.2 络合剂浓度对微晶玻璃化学机械抛光的影响 | 第56-57页 |
| 5.3.3 氧化剂对微晶玻璃化学机械抛光的影响 | 第57-58页 |
| 5.3.4 润滑剂对微晶玻璃化学机械抛光影响 | 第58-60页 |
| 5.4 结论 | 第60-61页 |
| 全文总结 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-70页 |
| 在学研究成果 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
