| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| 1.1 引言 | 第8-9页 |
| 1.2 光纤MEMS压力传感器的研究现状 | 第9-14页 |
| 1.3 光纤MEMS温度传感器的研究现状 | 第14-17页 |
| 1.4 本文主要研究内容与意义 | 第17-20页 |
| 1.4.1 本论文的研究目的和意义 | 第17页 |
| 1.4.2 本论文的研究内容 | 第17-20页 |
| 第二章 光纤法布里-珀罗MEMS传感器的基本原理 | 第20-32页 |
| 2.1 法布里-珀罗多光束干涉理论 | 第20-23页 |
| 2.2 光纤法布里-珀罗传感器的解调原理 | 第23-31页 |
| 2.2.1 强度解调法 | 第23-26页 |
| 2.2.2 相位解调法 | 第26-28页 |
| 2.2.3 波长解调法 | 第28-31页 |
| 2.3 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 基于波长解调的光纤MEMS压力传感器的理论分析与设计 | 第32-43页 |
| 3.1 光纤MEMS压力传感器的基本力学模型 | 第32-33页 |
| 3.2 压力敏感膜膜厚对挠度的影响 | 第33-34页 |
| 3.3 台面膜的力学性能 | 第34-41页 |
| 3.3.1 台面膜的膜厚与台面高度对挠度的影响 | 第35-37页 |
| 3.3.2 台面膜力学性能的有限元仿真 | 第37-41页 |
| 3.4 法-珀腔腔长对反射信号的影响 | 第41-42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 基于ANSYS和L-M算法的压力敏感膜挠度的修正 | 第43-55页 |
| 4.1 热应力条件下的力学模型 | 第43-44页 |
| 4.2 热应力模型下敏感膜性能的ANSYS仿真 | 第44-46页 |
| 4.3 敏感膜挠度的L-M拟合修正 | 第46-54页 |
| 4.3.1 L-M算法介绍 | 第46-48页 |
| 4.3.2 压力敏感膜厚度的影响 | 第48-50页 |
| 4.3.3 压力敏感膜半径的影响 | 第50-52页 |
| 4.3.4 玻璃管壁厚的影响 | 第52-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 光纤MEMS压力传感器的制作及压力测试 | 第55-64页 |
| 5.1 光纤MEMS压力传感器的加工工艺 | 第55-56页 |
| 5.2 光纤MEMS压力传感器的压力测试系统 | 第56-58页 |
| 5.3 峰值解调方法设计 | 第58-59页 |
| 5.4 压力测试结果 | 第59-62页 |
| 5.4.1 线性度 | 第61-62页 |
| 5.4.2 灵敏度 | 第62页 |
| 5.5 本章小结 | 第62-64页 |
| 第六章 基于双金属膜的光纤MEMS温度传感器 | 第64-70页 |
| 6.1 双金属膜光纤温度传感器的工作原理 | 第64-65页 |
| 6.2 双金属膜的力学模型 | 第65-66页 |
| 6.3 双金属膜力学性能的ANSYS仿真 | 第66-67页 |
| 6.4 传感器的温度实验测试 | 第67-69页 |
| 6.5 本章小结 | 第69-70页 |
| 第七章 结束语 | 第70-73页 |
| 7.1 本文工作总结 | 第70-71页 |
| 7.2 本文的主要创新点 | 第71页 |
| 7.3 后续的工作展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 作者简介 | 第78页 |