改进型离子掩膜技术制作的玻璃基光波导研究
| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 光互连 | 第10-12页 |
| 1.2 EOPCB的结构特性和国内外研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3 EOPCB的难点与材料选择 | 第14-17页 |
| 1.4 玻璃基离子交换的研究现状 | 第17-18页 |
| 1.5 改进型离子掩膜技术的研究意义 | 第18-19页 |
| 1.6 本文的主要内容与结构安排 | 第19-21页 |
| 2 玻璃基离子交换技术 | 第21-28页 |
| 2.1 玻璃基离子交换技术 | 第21-24页 |
| 2.1.1 折射率变化原理 | 第21页 |
| 2.1.2 源离子的选择 | 第21-22页 |
| 2.1.3 离子驱动方式 | 第22-24页 |
| 2.2 “银线”的产生与去除方法 | 第24-28页 |
| 3 离子掩膜技术的理论研究 | 第28-40页 |
| 3.1 传统离子交换扩散方程 | 第28-30页 |
| 3.2 离子浓度与折射率分布计算 | 第30-40页 |
| 3.2.1 有限差分法 | 第30-31页 |
| 3.2.2 —次K~+-Na~+离子交换 | 第31-34页 |
| 3.2.3 二次Ag~+-Na~+离子交换 | 第34-36页 |
| 3.2.4 三次Na~+-Ag~+离子反交换 | 第36-37页 |
| 3.2.5 折射率分布与离子浓度分布的关系 | 第37-40页 |
| 4 实验的分析与讨论 | 第40-60页 |
| 4.1 实验制作过程 | 第40-42页 |
| 4.2 实验条件的选择 | 第42-46页 |
| 4.3 实验结果分析 | 第46-60页 |
| 4.3.1 光波导横截面 | 第46-49页 |
| 4.3.2 光波导的“银线” | 第49页 |
| 4.3.3 光波导的扩散深度 | 第49-53页 |
| 4.3.4 光波导的通光测试 | 第53-54页 |
| 4.3.5 光波导的损耗测试 | 第54-58页 |
| 4.3.6 K~+离子掩膜技术的实验优化 | 第58-60页 |
| 5 工作总结与展望 | 第60-62页 |
| 5.1 工作总结 | 第60页 |
| 5.2 展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-71页 |
| 作者简历及在学期间所取得的科研成果 | 第71页 |
