| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 引言 | 第8页 |
| 1.2 多孔有机-无机杂化低介电材料 | 第8-10页 |
| 1.2.1 多孔有机-无机杂化材料概述 | 第8-9页 |
| 1.2.2 多孔有机-无机杂化材料制备方法 | 第9页 |
| 1.2.3 多孔有机-无机杂化低介电材料国内外研究现状 | 第9-10页 |
| 1.3 笼型倍半硅氧烷（POSS） | 第10-11页 |
| 1.3.1 POSS的结构 | 第10-11页 |
| 1.3.2 POSS的性能 | 第11页 |
| 1.4 POSS基有机-无机杂化多孔低介电材料 | 第11-15页 |
| 1.4.1 国外研究进展 | 第12-14页 |
| 1.4.2 国内研究进展 | 第14-15页 |
| 1.5 POSS基多孔低介电材料研究中存在的问题 | 第15-16页 |
| 1.6 本文研究目标和研究方案 | 第16-17页 |
| 1.6.1 研究目标 | 第16页 |
| 1.6.2 研究方案 | 第16-17页 |
| 2 BCB-POSS交联多孔材料 | 第17-26页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 实验部分 | 第17-19页 |
| 2.2.1 试剂及原料 | 第17页 |
| 2.2.2 主要实验设备及仪器 | 第17-18页 |
| 2.2.3 实验方法 | 第18-19页 |
| 2.3 表征测试方法 | 第19页 |
| 2.4 结果与讨论 | 第19-25页 |
| 2.4.1 合成路线 | 第19-20页 |
| 2.4.2 反应条件对产率的影响 | 第20-22页 |
| 2.4.3 BCB-POSS的结构与性能 | 第22-25页 |
| 2.5 本章小结 | 第25-26页 |
| 3 聚苯乙烯/POSS复合多孔材料 | 第26-41页 |
| 3.1 引言 | 第26页 |
| 3.2 实验部分 | 第26-27页 |
| 3.2.1 试剂及原料 | 第26-27页 |
| 3.2.2 主要实验设备 | 第27页 |
| 3.2.3 实验方法 | 第27页 |
| 3.3 表征测试方法 | 第27-28页 |
| 3.4 结果与讨论 | 第28-39页 |
| 3.4.1 成膜方法对介电性能的影响 | 第28-29页 |
| 3.4.2 溶剂成膜的成膜性能 | 第29页 |
| 3.4.3 温度对PS/POSS薄膜性能的影响 | 第29-35页 |
| 3.4.4 POSS掺入量对PS/POSS薄膜的影响 | 第35-36页 |
| 3.4.5 PS/POSS复合薄膜低介电常数降低的机理 | 第36-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-41页 |
| 4 PEO-b-PS/POSS纳米薄膜 | 第41-55页 |
| 4.1 前言 | 第41页 |
| 4.2 实验部分 | 第41-44页 |
| 4.2.1 试剂及原料 | 第41-42页 |
| 4.2.2 主要实验设备及仪器 | 第42页 |
| 4.2.3 实验方法 | 第42-44页 |
| 4.3 表征测试方法 | 第44页 |
| 4.4 结果与讨论 | 第44-54页 |
| 4.4.1 合成路线 | 第44页 |
| 4.4.2 核磁分析 | 第44-46页 |
| 4.4.3 凝胶渗透色谱分析 | 第46-47页 |
| 4.4.4 PEO-b-PS薄膜的自组装研究 | 第47-52页 |
| 4.4.5 PEO-b-PS/PEO均聚物薄膜的自组装研究 | 第52页 |
| 4.4.6 PEO-b-PS/POSS薄膜的自组装研究 | 第52-54页 |
| 4.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-65页 |
| 攻读硕士学位期间取得的科研成果 | 第65页 |
