| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-16页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第11-13页 |
| 1.2 国内外研究现状与发展趋势 | 第13-15页 |
| 1.3 论文的研究内容及框架结构 | 第15-16页 |
| 第二章 声表面波传感器的理论 | 第16-30页 |
| 2.1 声表面波 | 第16-18页 |
| 2.1.1 瑞利波 | 第16-17页 |
| 2.1.2 SH型声表面波 | 第17-18页 |
| 2.1.3 漏声表面波 | 第18页 |
| 2.2 声表面波传感器 | 第18-23页 |
| 2.2.1 声表面波器件的基本结构 | 第18-19页 |
| 2.2.2 声表面波温度传感器种类 | 第19-21页 |
| 2.2.3 声表面波温度传感原理 | 第21-23页 |
| 2.3 压电衬底材料 | 第23-29页 |
| 2.3.1 压电衬底材料的主要参数 | 第23-25页 |
| 2.3.2 常见的压电材料 | 第25-27页 |
| 2.3.3 压电材料的SAW特征 | 第27-28页 |
| 2.3.4 压电晶体的欧拉角 | 第28-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 声表面波传感器的设计与制备研究 | 第30-46页 |
| 3.1 前言 | 第30页 |
| 3.2 谐振型声表面波传感器的设计 | 第30-33页 |
| 3.2.1 单谐振器型声表面波传感器的设计 | 第30-32页 |
| 3.2.2 双谐振器型声表面波传感器的设计 | 第32-33页 |
| 3.3 声表面波传感器的制备研究 | 第33-45页 |
| 3.3.1 SAW传感器的制备工艺流程 | 第33-34页 |
| 3.3.2 光刻版的设计和制作 | 第34页 |
| 3.3.3 基片的预处理 | 第34-36页 |
| 3.3.4 光刻处理 | 第36-41页 |
| 3.3.5 电极的生长与剥离 | 第41-44页 |
| 3.3.6 快速退火 | 第44-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 单谐振器型的声表面波传感器的性能研究 | 第46-60页 |
| 4.1 前言 | 第46页 |
| 4.2 测试方法 | 第46-49页 |
| 4.2.1 矢量网络分析仪 | 第46-47页 |
| 4.2.2 主要测试参数 | 第47-48页 |
| 4.2.3 温度测试平台 | 第48-49页 |
| 4.3 基于LGS的单谐振器型SAW传感器的测试与分析 | 第49-59页 |
| 4.3.1 常温下特性测试与分析 | 第50-52页 |
| 4.3.2 温度特性测试与分析 | 第52-56页 |
| 4.3.3 Q值与K~2的温度变化分析 | 第56-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 双谐振器型的声表面波传感器的性能研究 | 第60-84页 |
| 5.1 前言 | 第60页 |
| 5.2 双SAW器件的介绍 | 第60-61页 |
| 5.3 基于LGS的双SAW传感器的测试与分析 | 第61-80页 |
| 5.3.1 夹角为30度的双SAW传感器的特性测试与分析 | 第62-66页 |
| 5.3.2 夹角为45度的双SAW传感器的特性测试与分析 | 第66-71页 |
| 5.3.3 夹角为60度的双SAW传感器的特性测试与分析 | 第71-75页 |
| 5.3.4 夹角为90度的双SAW传感器的特性测试与分析 | 第75-79页 |
| 5.3.5 双SAW传感器的Q值的温度变化分析 | 第79-80页 |
| 5.4 双SAW温度传感器的分辨率与温度测量验证 | 第80-82页 |
| 5.5 本章小结 | 第82-84页 |
| 第六章 总结与展望 | 第84-86页 |
| 6.1 总结 | 第84-85页 |
| 6.2 不足与展望 | 第85-86页 |
| 致谢 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-92页 |
| 攻读硕士期间的研究成果 | 第92-93页 |
