FBAR器件模型和若干应用技术的研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 缩略词表 | 第9-11页 |
| 目次 | 第11-14页 |
| 1 绪论 | 第14-28页 |
| ·课题研究背景 | 第14页 |
| ·FBAR概述 | 第14-19页 |
| ·FBAR历史和研究现状 | 第14-15页 |
| ·FBAR工作原理 | 第15-17页 |
| ·典型的FBAR结构 | 第17-19页 |
| ·FBAR滤波器研究现状 | 第19-24页 |
| ·射频滤波器的关键指标 | 第19-20页 |
| ·现有射频滤波器解决方案 | 第20-22页 |
| ·FBAR滤波器研究现状与趋势 | 第22-24页 |
| ·FBAR微质量传感器研究现状 | 第24-25页 |
| ·论文的研究内容和章节安排 | 第25-28页 |
| ·论文的研究内容 | 第25-26页 |
| ·各章节内容安排 | 第26-28页 |
| 2 FBAR建模和制备 | 第28-52页 |
| ·FBAR等效电路模型 | 第28-34页 |
| ·Mason模型 | 第28-31页 |
| ·BVD和MBVD模型 | 第31-33页 |
| ·PMBVD模型 | 第33-34页 |
| ·FBAR的ADS仿真模型建立 | 第34-38页 |
| ·FBAR中各材料的参数值 | 第34-35页 |
| ·压电薄膜的ADS仿真模型建立 | 第35-36页 |
| ·普通声学层的ADS仿真模型建立 | 第36-37页 |
| ·FBAR的ADS仿真模型建立 | 第37-38页 |
| ·FBAR三维电磁场仿真模型的建立 | 第38-44页 |
| ·等效复介电常数 | 第38-41页 |
| ·FBAR三维电磁场仿真模型 | 第41-43页 |
| ·电极形状对FBAR的影响 | 第43-44页 |
| ·FBAR的制备和测试 | 第44-49页 |
| ·FBAR制备工艺流程 | 第44-46页 |
| ·FBAR流片和测试 | 第46-49页 |
| ·本章小结 | 第49-52页 |
| 3 FBAR滤波器设计 | 第52-84页 |
| ·FBAR带通滤波器 | 第52-64页 |
| ·FBAR带通滤波器结构 | 第52-56页 |
| ·阶梯型FBAR滤波器 | 第52-54页 |
| ·网格型FBAR滤波器 | 第54-55页 |
| ·堆叠型和耦合型FBAR滤波器 | 第55-56页 |
| ·FBAR带通滤波器的设计步骤 | 第56-57页 |
| ·FBAR带通滤波器设计实例 | 第57-64页 |
| ·GSM900频段滤波器设计 | 第57-59页 |
| ·PHS频段滤波器设计 | 第59-60页 |
| ·WCDMA频段滤波器设计 | 第60-61页 |
| ·MIMO系统多工器设计 | 第61-63页 |
| ·各通信终端滤波器设计参数 | 第63-64页 |
| ·FBAR堆叠滤波器 | 第64-67页 |
| ·FBAR滤波器堆叠技术 | 第64-65页 |
| ·FBAR堆叠滤波器的设计 | 第65-66页 |
| ·FBAR堆叠滤波器实例 | 第66-67页 |
| ·FBAR带阻滤波器 | 第67-70页 |
| ·FBAR带阻滤波器原理和设计方法 | 第68-69页 |
| ·FBAR带阻滤波器的设计实例 | 第69-70页 |
| ·剪切模式FBAR滤波器 | 第70-72页 |
| ·FBAR滤波器相关参数研究 | 第72-81页 |
| ·寄生参数对FBAR滤波器的影响 | 第72-74页 |
| ·FBAR滤波器带宽的研究 | 第74-76页 |
| ·FBAR滤波器带外抑制的研究 | 第76-77页 |
| ·FBAR滤波器功率容量的研究 | 第77-80页 |
| ·FBAR滤波器温度补偿的研究 | 第80-81页 |
| ·本章小结 | 第81-84页 |
| 4 FBAR传感信号采集芯片设计 | 第84-102页 |
| ·FBAR传感信号采集芯片介绍 | 第84-92页 |
| ·双路差分FBAR传感信号检测结构 | 第84-87页 |
| ·FBAR传感信号采集芯片电路设计 | 第87-92页 |
| ·256分频电路的设计 | 第87-89页 |
| ·标准数字电路的设计 | 第89-92页 |
| ·芯片流片测试 | 第92-96页 |
| ·芯片改进设计 | 第96-98页 |
| ·改进芯片的版图设计 | 第98-99页 |
| ·本章小结 | 第99-102页 |
| 5 总结及展望 | 第102-104页 |
| ·论文主要内容及成果 | 第102页 |
| ·论文的不足之处及进一步工作 | 第102-104页 |
| 参考文献 | 第104-112页 |
| 作者简历及在学期间所取得的科研成果 | 第112-113页 |
