针对气体样品的微型质谱仪等离子体源的设计与制造
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| ·本课题的研究背景和意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究进展 | 第10-17页 |
| ·本文研究内容和创新点 | 第17-18页 |
| 第2章 等离子体技术及微小体积等离子体 | 第18-30页 |
| ·等离子体物理基础 | 第18-26页 |
| ·等离子体的基本概念 | 第19-20页 |
| ·等离子体振荡 | 第20-21页 |
| ·等离子体控制方程 | 第21-22页 |
| ·等离子体的产生和消失 | 第22-23页 |
| ·高频电容耦合等离子体发生技术 | 第23-26页 |
| ·微小体积等离子体理论分析 | 第26-29页 |
| ·微小体积离子体的典型特征 | 第26页 |
| ·微小体积等离子体的理论基础与发生技术 | 第26-29页 |
| ·分析总结 | 第29-30页 |
| 第3章 微带线理论及微带线放电结构 | 第30-42页 |
| ·微带线基本理论 | 第30-34页 |
| ·微带线中波的传播 | 第30-31页 |
| ·微带线性能参数 | 第31-34页 |
| ·微带线谐振器 | 第34-35页 |
| ·微带线放电结构 | 第35-41页 |
| ·微带线几何参数设计 | 第36-37页 |
| ·阻抗匹配的参数设计 | 第37-39页 |
| ·等离子体负载阻抗 | 第39-40页 |
| ·等效电路 | 第40-41页 |
| ·品质因数和功率效率 | 第41页 |
| ·分析总结 | 第41-42页 |
| 第4章 放电板结构的设计和制作 | 第42-50页 |
| ·高频板材料选择 | 第42-43页 |
| ·微带线放电结构参数设计 | 第43-47页 |
| ·放电间隙的设计 | 第43-44页 |
| ·阻抗匹配段的电路制作 | 第44-45页 |
| ·微波功率输入和屏蔽设计 | 第45-47页 |
| ·功率输入和接地设置 | 第47-48页 |
| ·硼硅酸玻璃介质微带线 | 第48-49页 |
| ·分析总结 | 第49-50页 |
| 第5章 微小体积放电实验系统 | 第50-61页 |
| ·真空技术方案 | 第51-54页 |
| ·微波功率源 | 第54-57页 |
| ·检测系统 | 第57-59页 |
| ·功率测量系统 | 第57-58页 |
| ·等离子体诊断系统 | 第58-59页 |
| ·电打火系统 | 第59页 |
| ·放电现象描述与数据 | 第59-60页 |
| ·分析总结 | 第60-61页 |
| 第6章 总结与展望 | 第61-62页 |
| ·本文工作总结 | 第61页 |
| ·将来工作展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
