基于机器视觉的硅棒参数在线检测技术研究
| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-7页 |
| 1 绪论 | 第7-11页 |
| ·课题研究背景 | 第7页 |
| ·国内外研究现状 | 第7-10页 |
| ·主要内容安排 | 第10-11页 |
| 2 总体方案设计 | 第11-15页 |
| ·总体方案设计 | 第13-14页 |
| ·系统设计要求 | 第14页 |
| ·本章小结 | 第14-15页 |
| 3 硅棒尺寸视觉检测系统设计 | 第15-32页 |
| ·视觉测量方法 | 第15-20页 |
| ·单目视觉 | 第15-17页 |
| ·双目视觉 | 第17-20页 |
| ·极线几何及极线约束 | 第20页 |
| ·硅棒尺寸检测数据采集模块设计 | 第20-24页 |
| ·硅棒尺寸检测视觉系统总体设计 | 第20-21页 |
| ·硅棒尺寸检测视觉系统工作原理 | 第21-23页 |
| ·尺寸检测关键技术研究 | 第23-24页 |
| ·硅棒尺寸视觉检测数据采集模块选型 | 第24-27页 |
| ·光源 | 第24-25页 |
| ·CCD相机 | 第25-26页 |
| ·镜头 | 第26-27页 |
| ·图像采集卡 | 第27页 |
| ·硅棒尺寸检测图像处理模块设计 | 第27-31页 |
| ·硅棒尺寸视觉检测界面设计 | 第29页 |
| ·面阵相机标定 | 第29-30页 |
| ·尺寸检测算法设计 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 4 硅棒表面缺陷视觉检测系统设计 | 第32-42页 |
| ·三角测量理论与分析 | 第32-33页 |
| ·硅棒缺陷检测数据采集模块设计 | 第33-36页 |
| ·硅棒缺陷检测数据采集模块选型 | 第36-38页 |
| ·硅棒缺陷检测图像处理模块设计 | 第38-41页 |
| ·硅棒缺陷视觉检测界面设计 | 第38页 |
| ·线阵相机标定 | 第38-39页 |
| ·缺陷检测算法设计 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 5 运动控制系统设计 | 第42-63页 |
| ·步进电机及驱动方式 | 第42-49页 |
| ·步进电机介绍 | 第42-46页 |
| ·步进电机驱动方式 | 第46-49页 |
| ·运动控制系统硬件设计 | 第49-57页 |
| ·TMS320F2812芯片介绍 | 第50-52页 |
| ·最小系统电路设计 | 第52-54页 |
| ·步进电机驱动电路设计 | 第54-56页 |
| ·电流检测及过流保护电路设计 | 第56-57页 |
| ·位置检测电路设计 | 第57页 |
| ·运动控制系统软件程序设计 | 第57-61页 |
| ·主程序设计 | 第59-60页 |
| ·子程序算法设计 | 第60-61页 |
| ·子模块算法测试 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 6 系统测试结果及分析 | 第63-71页 |
| ·尺寸检测系统实验及结果分析 | 第63-67页 |
| ·缺陷检测系统实验结果及分析 | 第67-71页 |
| 7 结论与展望 | 第71-73页 |
| ·结论 | 第71页 |
| ·展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-79页 |
