铌钕共掺钛酸铋铁电薄膜的制备及电学性能表征
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-22页 |
| ·铁电薄膜的发展 | 第9-10页 |
| ·铁电薄膜的应用 | 第10-13页 |
| ·铁电薄膜的种类 | 第13-15页 |
| ·铁电薄膜的掺杂改性 | 第15-16页 |
| ·铁电薄膜的制备方法 | 第16-20页 |
| ·物理气相沉积 | 第16-17页 |
| ·化学气相沉积 | 第17-18页 |
| ·化学溶液沉积法 | 第18-20页 |
| ·本文的选题依据和主要内容 | 第20-22页 |
| ·选题依据 | 第20-21页 |
| ·研究思路和主要内容 | 第21-22页 |
| 第2章 BNTN 薄膜的制备及测试方法 | 第22-29页 |
| ·微观结构测试方法 | 第24-26页 |
| ·膜厚的测试 | 第24-25页 |
| ·表面形貌测试 | 第25页 |
| ·晶体结构测试 | 第25-26页 |
| ·电学性能测试 | 第26-29页 |
| ·薄膜铁电性能测试 | 第27页 |
| ·TFT 电学性能测试 | 第27-29页 |
| 第3章 铌含量对 BNTN 薄膜性能的影响 | 第29-43页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·BNTN_x铁电薄膜的制备 | 第29-30页 |
| ·BNTN_(0.01)铁电薄膜的退火温度选择 | 第30-33页 |
| ·晶体结构 | 第31页 |
| ·表面形貌 | 第31-32页 |
| ·铁电性能 | 第32-33页 |
| ·BNTN_x铁电薄膜铌最佳掺杂量探究 | 第33-42页 |
| ·BNTN_x薄膜的 XRD 分析 | 第33-34页 |
| ·BNTN_x薄膜的 SEM 分析 | 第34-35页 |
| ·BNTN_x薄膜的铁电性能 | 第35-36页 |
| ·BNTN_x薄膜的漏电比较 | 第36-37页 |
| ·BNTN_x薄膜的介电性能 | 第37-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 BNTN 介质层对 TFT 的影响 | 第43-50页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·ZnO/BNTN TFT 的制备 | 第43-45页 |
| ·ZnO/BNTN TFT 的电学性能 | 第45-49页 |
| ·输出特性 | 第45-46页 |
| ·转移特性 | 第46-48页 |
| ·保持特性 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 结论与展望 | 第50-52页 |
| ·结论 | 第50页 |
| ·展望 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 附录A：攻读硕士学位期间的论文 | 第60页 |
