| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| ·薄膜材料简介 | 第9页 |
| ·薄膜材料力学性能 | 第9-11页 |
| ·薄膜材料力学性能表征现状 | 第11-17页 |
| ·拉伸法 | 第11-12页 |
| ·压痕法 | 第12-14页 |
| ·鼓包法 | 第14-17页 |
| ·本文的选题依据与主要研究内容 | 第17-19页 |
| ·本文的选题依据 | 第17-18页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第2章 鼓包法表征薄膜力学性能的理论模型 | 第19-31页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·圆形窗口薄膜鼓膜方程 | 第19-22页 |
| ·圆形窗口薄膜的球帽模型 | 第19-21页 |
| ·圆形窗口薄膜的最小能量法解 | 第21-22页 |
| ·非圆形窗口薄膜鼓膜方程 | 第22-25页 |
| ·方形和矩形窗口薄膜的最小能量法解 | 第22-24页 |
| ·无限长矩形窗口薄膜的平面应变模型 | 第24-25页 |
| ·各种形状窗口薄膜的通用鼓膜方程 | 第25-26页 |
| ·圆形窗口薄膜鼓泡方程 | 第26-30页 |
| ·弹性薄膜材料体系下的鼓泡方程 | 第26-29页 |
| ·弹塑性薄膜材料体系下的鼓泡方程 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 鼓包法表征弹性模量和残余应力的测试模型研究 | 第31-54页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·鼓膜实验的有限元模型 | 第31-33页 |
| ·有限元软件 ABAQUS 简介 | 第31-32页 |
| ·有限元模型 | 第32-33页 |
| ·数据处理步骤 | 第33页 |
| ·圆形窗口薄膜鼓包测试模型精度分析 | 第33-38页 |
| ·弹性常数对鼓包测试模型精度的影响 | 第33-35页 |
| ·残余应力对鼓包测试模型精度的影响 | 第35-38页 |
| ·非圆形窗口薄膜鼓包模型精度分析 | 第38-48页 |
| ·弹性常数和残余应力对薄膜变形行为的影响 | 第38-40页 |
| ·对方形窗口鼓包测试模型的修正 | 第40-41页 |
| ·对平面应变鼓包测试模型的修正 | 第41-48页 |
| ·鼓包实验验证 | 第48-52页 |
| ·鼓包实验装置概述 | 第48-49页 |
| ·样品制备与处理 | 第49页 |
| ·鼓包实验结果及分析 | 第49-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第4章 鼓包法表征薄膜界面结合能的测试模型研究 | 第54-65页 |
| ·引言 | 第54页 |
| ·鼓包法表征界面结合能的有限元模型 | 第54-57页 |
| ·几何与材料模型 | 第54-55页 |
| ·内聚力模型 | 第55-57页 |
| ·有限元模拟结果处理流程 | 第57页 |
| ·弹性薄膜材料体系下界面结合能测试模型分析 | 第57-61页 |
| ·孔径对鼓包界面结合能测量的影响 | 第57-60页 |
| ·与原有界面结合能测试模型的比较 | 第60-61页 |
| ·弹塑性薄膜材料体系下界面结合能测试模型的建立 | 第61-64页 |
| ·不同孔径下的鼓泡实验数值模拟 | 第61-63页 |
| ·镍薄膜界面结合能公式的提取 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第5章 总结与展望 | 第65-67页 |
| ·论文总结 | 第65-66页 |
| ·工作展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第72页 |