| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 1 绪论 | 第10-13页 |
| ·研究背景 | 第10页 |
| ·热电材料 Ca_3Co_4O_9和 SrTiO_3的研究现状 | 第10-12页 |
| ·p 型热电材料 Ca_3Co_4O_9的研究现状 | 第11页 |
| ·n 型热电材料 SrTiO_3的研究现状 | 第11-12页 |
| ·本论文的研究目的及意义 | 第12-13页 |
| 2 实验仪器及性能参数 | 第13-14页 |
| 3 Ca_3Co_4O_9薄膜制备及表征 | 第14-17页 |
| ·Ca_3Co_4O_9靶材的制备及物相分 | 第14-15页 |
| ·Ca_3Co_4O_9靶材的制备 | 第14页 |
| ·Ca_3Co_4O_9靶材的物相分析 | 第14-15页 |
| ·Ca_3Co_4O_9薄膜的制备及表征 | 第15-17页 |
| ·Ca_3Co_4O_9薄膜的制备 | 第15页 |
| ·Ca_3Co_4O_9薄膜的物相分析 | 第15-16页 |
| ·Ca_3Co_4O_9薄膜的形貌表征 | 第16-17页 |
| 4 Nb 元素注入掺杂对 Ca_3Co_4O_9薄膜热电性能的改性 | 第17-24页 |
| ·Nb 注入掺杂 Ca_3Co_4O_9薄膜样品的制备 | 第17页 |
| ·Nb 注入掺杂 Ca_3Co_4O_9薄膜样品的物相分析 | 第17-18页 |
| ·室温下电阻率的表征 | 第18-19页 |
| ·热电性能表征 | 第19-22页 |
| ·电阻率 | 第19-21页 |
| ·塞贝克系数 | 第21-22页 |
| ·功率因子 | 第22页 |
| ·本章小结 | 第22-24页 |
| 5 NbN_x第二相掺入对 Ca_3Co_4O_9薄膜热电性能的影响 | 第24-32页 |
| ·NbN_x第二相掺入 Ca_3Co_4O_9薄膜样品的制备 | 第24页 |
| ·NbN_x第二相掺杂 Ca_3Co_4O_9薄膜样品的物相分析 | 第24-25页 |
| ·室温下电阻率的表征 | 第25-26页 |
| ·热电性能表征 | 第26-31页 |
| ·电阻率 | 第26-28页 |
| ·塞贝克系数 | 第28-30页 |
| ·功率因子 | 第30-31页 |
| ·小结 | 第31-32页 |
| 6 SrTiO_3薄膜的制备及表征 | 第32-34页 |
| ·SrTiO_3靶材的制备及物相分析 | 第32页 |
| ·SrTiO_3靶材的制备 | 第32页 |
| ·SrTiO_3靶材的物相分析 | 第32页 |
| ·SrTiO_3薄膜的制备及表征 | 第32-34页 |
| ·SrTiO_3薄膜的制备 | 第32-33页 |
| ·SrTiO_3薄膜的表征 | 第33-34页 |
| 7 Nb 元素注入掺杂对 SrTiO_3薄膜热电性能的改性 | 第34-40页 |
| ·Nb 注入掺杂 SrTiO_3薄膜样品的制备 | 第34页 |
| ·Nb 注入掺杂 SrTiO_3薄膜样品的物相分析 | 第34-35页 |
| ·热电性能的表征 | 第35-39页 |
| ·电阻率 | 第35-36页 |
| ·塞贝克系数 | 第36-37页 |
| ·功率因子 | 第37-39页 |
| ·小结 | 第39-40页 |
| 8 结论 | 第40-42页 |
| 参考文献 | 第42-47页 |
| 致谢 | 第47-48页 |
| 攻读学位期间取得的科研成果清单 | 第48页 |
