| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-14页 |
| ·课题背景及意义 | 第9-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-12页 |
| ·国外变频相移干涉仪的研究现状 | 第11页 |
| ·国内变频相移干涉仪的研究现状 | 第11-12页 |
| ·本文研究的主要内容及组织结构 | 第12-14页 |
| 2 相移干涉技术 | 第14-30页 |
| ·相移干涉术的基本原理 | 第14-18页 |
| ·步进式移相干涉术(phase-stepping)的基本原理 | 第15-17页 |
| ·线性连续式相移干涉术(phase-shifting)的基本原理 | 第17-18页 |
| ·变频相移干涉术 | 第18-19页 |
| ·相位标定 | 第19-29页 |
| ·基于一维傅里叶变换的相位标定方法 | 第20-21页 |
| ·变频干涉仪的相位标定方法 | 第21-24页 |
| ·两种相位标定方法的仿真结果及分析 | 第24-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 3 变频相移干涉图的处理及仿真实验 | 第30-54页 |
| ·常见的相位解调算法 | 第30-42页 |
| ·定步长算法 | 第30-35页 |
| ·等步长算法 | 第35-37页 |
| ·变步长算法 | 第37-42页 |
| ·相位解包裹算法 | 第42-46页 |
| ·相位解包裹的基本原理 | 第42页 |
| ·绕过残点的解包裹算法 | 第42-45页 |
| ·最小二乘法解包裹 | 第45页 |
| ·质量图导向法 | 第45页 |
| ·规化方法 | 第45页 |
| ·掩模分支法(Mask cut) | 第45-46页 |
| ·泽尼克波面拟合算法 | 第46-49页 |
| ·Zernike波面拟合的基本原理 | 第46-47页 |
| ·Zernike多项式项数的选取 | 第47-49页 |
| ·仿真实验及结果分析 | 第49-53页 |
| ·仿真实验流程 | 第49页 |
| ·迭代算法的仿真结果与分析 | 第49-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 4 变频相移干涉实验及结果分析 | 第54-62页 |
| ·变频激光器的基本原理 | 第54-55页 |
| ·干涉图光强的校正 | 第55-56页 |
| ·变频相移干涉测量实验结果及分析 | 第56-61页 |
| ·变频相移干涉实验 | 第56-57页 |
| ·变频相移干涉实验结果及分析 | 第57-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 5 变频相移干涉系统误差分析 | 第62-66页 |
| ·波长步进误差 | 第63-64页 |
| ·中心波长漂移误差 | 第64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 6 结论与展望 | 第66-69页 |
| ·结论 | 第66-67页 |
| ·展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-76页 |