| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-21页 |
| ·钛酸铋钠基压电材料 | 第9-13页 |
| ·钛酸铋钠基压电材料发展简述 | 第9-11页 |
| ·钛酸铋钠钾压电薄膜研究现状 | 第11-13页 |
| ·压电效应与电致伸缩效应 | 第13-15页 |
| ·压电效应 | 第13-14页 |
| ·电致伸缩效应 | 第14-15页 |
| ·压电致动器 | 第15-19页 |
| ·微悬臂梁压电致薄膜动器简述 | 第15-16页 |
| ·微悬臂梁压电薄膜致动器应用 | 第16-18页 |
| ·微悬臂梁致动器的发展 | 第18-19页 |
| ·本论文的选题依据和主要工作 | 第19-21页 |
| ·本论文的选题依据 | 第19-20页 |
| ·本论文的主要工作 | 第20-21页 |
| 第2章 NBT-KBT100x 铁电薄膜的制备与表征 | 第21-29页 |
| ·NBT-KBT100x 铁电薄膜的制备 | 第21-24页 |
| ·样品的准备 | 第21-22页 |
| ·仪器的准备 | 第22-23页 |
| ·环境要求 | 第23页 |
| ·前驱液的配备 | 第23-24页 |
| ·两种薄膜的制备 | 第24-26页 |
| ·衬底的清洗 | 第24-25页 |
| ·制膜过程 | 第25-26页 |
| ·NBT-KBT100x 铁电薄膜性能表征 | 第26-28页 |
| ·X 射线衍射 | 第26页 |
| ·铁电性能表征 | 第26-27页 |
| ·介电和漏电流表征 | 第27页 |
| ·压电性能表征 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 NBT-KBT100x 铁电薄膜机电耦合性能 | 第29-37页 |
| ·NBT-KBT100x 铁电薄膜的微结构 | 第29-30页 |
| ·NBT-KBT100x 铁电薄膜的电学性能 | 第30-32页 |
| ·NBT-KBT100x 铁电薄膜的漏电流和电滞回线 | 第30-31页 |
| ·NBT-KBT100x 铁电薄膜的介电性能 | 第31-32页 |
| ·NBT-KBT100x 铁电薄膜的压电性能 | 第32-33页 |
| ·压电响应 | 第32页 |
| ·压电系数 | 第32-33页 |
| ·NBT-KBT100x 铁电薄膜的电致伸缩性能 | 第33-36页 |
| ·电致伸缩效应 | 第33-34页 |
| ·电致伸缩性能 | 第34-35页 |
| ·压电应变与电致伸缩应变 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 NBT-KBT15 薄膜分段悬臂梁致动器性能的分析 | 第37-50页 |
| ·验证第二模态应力节点的存在 | 第37-39页 |
| ·分段微悬臂梁设计与模型的建立 | 第39-43页 |
| ·d 31模式的悬臂梁压电本构方程 | 第40页 |
| ·中性面和弯矩的推导 | 第40-41页 |
| ·挠度的推导 | 第41-43页 |
| ·分段与连续悬臂梁的致动性能 | 第43-47页 |
| ·材料的参数与有限元模型 | 第44页 |
| ·分段悬臂梁致动性能 | 第44-46页 |
| ·梁长和阻尼系数对分段悬臂梁致动性能影响 | 第46-47页 |
| ·悬臂梁性能的预测 | 第47-49页 |
| ·悬臂梁各层厚度对致动性能影响 | 第47-48页 |
| ·弯曲刚度对致动性能的影响 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 总结和展望 | 第50-52页 |
| ·全文总结 | 第50页 |
| ·工作展望 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 攻读学位期间发表的论文及参与的会议 | 第57页 |
