| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| ·光刻技术 | 第8-9页 |
| ·准分子激光光刻 | 第9-11页 |
| ·极紫外光刻技术 | 第11-13页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第13-15页 |
| 2 准分子激光器棱镜扩束系统 | 第15-30页 |
| ·光刻用准分子激光的特性 | 第15-16页 |
| ·光刻用准分子激光器的主要模块 | 第16-19页 |
| ·棱镜扩束原理 | 第19-21页 |
| ·棱镜扩束系统的ZEMAX 模型的建立 | 第21-25页 |
| ·棱镜扩束系统的ZEAMX 模拟的结果 | 第25-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 3 LPP 极紫外光源中的收集镜 | 第30-38页 |
| ·收集镜的立体角和光源输出光展量（etendue） | 第32-33页 |
| ·收集镜面型参数的计算 | 第33-34页 |
| ·椭球成像放大理论 | 第34-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 4 收集镜的ZEMAX 模拟 | 第38-51页 |
| ·收集镜ZEMAX 模型的建立 | 第38-41页 |
| ·液滴无漂移时IF 点光斑的特性 | 第41-45页 |
| ·液滴漂移时IF 点光斑的特性 | 第45-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 5 总结与展望 | 第51-53页 |
| ·总结 | 第51-52页 |
| ·展望 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第59页 |