| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-16页 |
| ·课题的研究背景 | 第6页 |
| ·薄膜的生长机理 | 第6-10页 |
| ·薄膜的成核 | 第7-8页 |
| ·连续薄膜的形成 | 第8-9页 |
| ·薄膜的生长 | 第9-10页 |
| ·薄膜的制备方法 | 第10-12页 |
| ·薄膜材料的表征 | 第12-14页 |
| ·XRD分析 | 第13页 |
| ·TEM分析 | 第13页 |
| ·AFM分析 | 第13-14页 |
| ·厚度分析 | 第14页 |
| ·薄膜材料的应用 | 第14-16页 |
| 第二章 Co-C薄膜的制备与测试方法 | 第16-20页 |
| ·实验的研究路线 | 第16-17页 |
| ·实验材料 | 第17页 |
| ·Co-C薄膜的制备 | 第17-18页 |
| ·实验设备 | 第17页 |
| ·样品的制备 | 第17-18页 |
| ·薄膜的表征 | 第18-20页 |
| ·XRD分析 | 第18页 |
| ·TEM分析 | 第18页 |
| ·AFM分析 | 第18-19页 |
| ·厚度分析 | 第19-20页 |
| 第三章 溅射电流对Co-C薄膜结构、表面形貌和性能的影响 | 第20-38页 |
| ·C溅射电流对Co-C薄膜结构、表面形貌和性能的影响 | 第20-29页 |
| ·C溅射电流对Co-C薄膜结构的影响 | 第20-25页 |
| ·C溅射电流对Co-C薄膜表面形貌的影响 | 第25-28页 |
| ·C溅射电流对Co-C薄膜结构性能的影响 | 第28-29页 |
| ·Co溅射电流对Co-C薄膜结构、表面形貌和性能的影响 | 第29-36页 |
| ·Co溅射电流对Co-C薄膜结构的影响 | 第30-32页 |
| ·Co溅射电流对Co-C薄膜表面形貌的影响 | 第32-36页 |
| ·Co溅射电流对Co-C薄膜性能的影响 | 第36页 |
| ·本章小结 | 第36-38页 |
| 第四章 溅射时间对Co-C薄膜结构、表面形貌和性能的影响 | 第38-45页 |
| ·溅射时间对Co-C薄膜结构的影响 | 第38-39页 |
| ·溅射时间对Co-C薄膜表面形貌的影响 | 第39-42页 |
| ·溅射时间对Co-C薄膜性能的影响 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第五章 氢气流量对Co-C薄膜的结构、表面形貌和性能的影响 | 第45-52页 |
| ·氢气流量对Co-C薄膜结构的影响 | 第45-48页 |
| ·氢气流量对Co-C薄膜表面形貌的影响 | 第48-50页 |
| ·氢气流量对Co-C薄膜性能的影响 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第六章 结论 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 作者简介 | 第58页 |
| 攻读硕士学位期间研究成果 | 第58-59页 |
