| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-36页 |
| ·引言 | 第14-15页 |
| ·压电驱动特性基础 | 第15-17页 |
| ·压电效应与逆压电效应 | 第15-16页 |
| ·压电系统迟滞非线性形成机理 | 第16-17页 |
| ·压电驱动的特点 | 第17页 |
| ·压电陶瓷驱动器的主要应用 | 第17-22页 |
| ·扫描探针显微镜 | 第17-18页 |
| ·光纤对接 | 第18-19页 |
| ·自适应光学/能动光学 | 第19页 |
| ·医疗机器人 | 第19-20页 |
| ·生物工程 | 第20页 |
| ·超声电机 | 第20-21页 |
| ·精密驱动工作台 | 第21页 |
| ·电子束液态曝光技术 | 第21-22页 |
| ·压电陶瓷驱动器控制技术的国内外研究现状 | 第22-32页 |
| ·压电陶瓷驱动器的控制模型 | 第22-28页 |
| ·Preisach 模型 | 第22-24页 |
| ·Krasnoselskill-Pokrovskii 模型 | 第24页 |
| ·Maxwell 滑动模型 | 第24-25页 |
| ·Bouc-Wen 模型 | 第25-26页 |
| ·Duhem 模型 | 第26页 |
| ·Prandtl-Ishlinskii 模型 | 第26-27页 |
| ·多项式模型 | 第27页 |
| ·类 Backlash 模型 | 第27页 |
| ·简化的 Dahl 模型 | 第27-28页 |
| ·指数形式的数学模型 | 第28页 |
| ·椭圆模型 | 第28页 |
| ·压电陶瓷驱动器的控制方法 | 第28-32页 |
| ·电荷控制 | 第28-29页 |
| ·相位控制 | 第29页 |
| ·各种基于电压控制的开环位移控制方案 | 第29-30页 |
| ·各种基于电压控制的闭环位移控制方案 | 第30-32页 |
| ·论文研究目的及组织结构 | 第32-36页 |
| ·论文的研究目的与意义 | 第32-33页 |
| ·论文的组织结构 | 第33-36页 |
| 第二章 压电陶瓷驱动器的基本物理特性研究 | 第36-44页 |
| ·压电陶瓷致动器及其输出特性 | 第36-37页 |
| ·测试的目的及其实验装置介绍 | 第37-38页 |
| ·压电陶瓷驱动器的基本物理特性分析及测定 | 第38-43页 |
| ·迟滞特性 | 第38-41页 |
| ·蠕变特性 | 第41-42页 |
| ·温度特性 | 第42页 |
| ·负载特性 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第三章 应变反馈式压电驱动器结构设计与研制 | 第44-54页 |
| ·应变反馈式压电驱动器的设计要求 | 第44页 |
| ·应变反馈式驱动器的机械结构设计与分析 | 第44-50页 |
| ·结构设计分析 | 第44-46页 |
| ·结构尺寸优化设计 | 第46-47页 |
| ·有限元分析 | 第47-48页 |
| ·放大倍数分析及实验测试 | 第48-50页 |
| ·应变电桥在驱动器上的实现 | 第50-53页 |
| ·应变片选型 | 第50页 |
| ·应变片粘贴位置分布及电桥分析 | 第50-51页 |
| ·应变片粘贴步骤及注意事项 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 应变反馈式压电驱动器的实验研究 | 第54-64页 |
| ·测试目的及实验系统构成 | 第54-55页 |
| ·测试装置介绍 | 第55-58页 |
| ·位移传感器 | 第55-56页 |
| ·高压放大器及其特性测试 | 第56页 |
| ·数据采集卡的选择 | 第56页 |
| ·系统软件编制 | 第56-58页 |
| ·应变反馈式驱动器的测试结果 | 第58-61页 |
| ·驱动器在准静态条件下的定位性能 | 第58-59页 |
| ·驱动器在准静态条件下对单频信号的跟踪性能 | 第59-60页 |
| ·驱动器在准静态条件下对变频变幅信号的跟踪性能 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-64页 |
| 第五章 压电陶瓷驱动器迟滞非线性建模方法研究 | 第64-74页 |
| ·传统 PI 模型介绍 | 第64-66页 |
| ·改进的 PI 模型 | 第66-68页 |
| ·压电驱动器迟滞模型的验证实验 | 第68-72页 |
| ·实验装置 | 第68页 |
| ·两种迟滞正模型的建模对比实验 | 第68-70页 |
| ·两种迟滞逆模型的开环对比实验 | 第70-72页 |
| ·本章小结 | 第72-74页 |
| 第六章 压电陶瓷驱动器非线性校正控制方法研究 | 第74-102页 |
| ·引言 | 第74页 |
| ·压电驱动器迟滞校正控制策略 | 第74-99页 |
| ·经典 PID 控制算法 | 第74-76页 |
| ·经典 PID 算法原理 | 第74-76页 |
| ·经典 PID 控制算法流程 | 第76页 |
| ·模糊控制算法 | 第76-80页 |
| ·模糊控制概念 | 第76-77页 |
| ·模糊控制系统原理 | 第77页 |
| ·自整定模糊 PID 控制器设计 | 第77-80页 |
| ·逆模型复合控制算法 | 第80-84页 |
| ·逆模型开环控制算法 | 第80页 |
| ·逆模型 PID 闭环控制算法 | 第80-82页 |
| ·逆模型模糊 PID 闭环控制算法 | 第82-84页 |
| ·实验验证 | 第84-99页 |
| ·同频曲线的动态跟踪实验 | 第84-91页 |
| ·变频变幅曲线的动态跟踪实验 | 第91-96页 |
| ·不同频段内算法效果对比实验 | 第96-99页 |
| ·压电驱动器蠕变校正闭环控制策略 | 第99-100页 |
| ·本章小结 | 第100-102页 |
| 第七章 反馈式压电驱动器在光学偏转镜中的应用研究 | 第102-114页 |
| ·引言 | 第102页 |
| ·光学偏转镜设计 | 第102-107页 |
| ·光学偏转镜结构设计 | 第102-104页 |
| ·光学偏转镜测试结果 | 第104-107页 |
| ·基于光学偏转镜的转角控制实验 | 第107-112页 |
| ·实验系统搭建 | 第107-108页 |
| ·实验原理与实验步骤 | 第108-109页 |
| ·实验结果分析 | 第109-112页 |
| ·迟滞矫正实验结果分析 | 第109-111页 |
| ·蠕变实验结果分析 | 第111-112页 |
| ·本章小结 | 第112-114页 |
| 第八章 总结与展望 | 第114-118页 |
| ·文章研究的主要内容和结论 | 第114-115页 |
| ·论文的主要创新点 | 第115-116页 |
| ·未来工作的展望 | 第116-118页 |
| 参考文献 | 第118-124页 |
| 作者简历及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第124-126页 |